[发明专利]平行板DBD等离子体发生器有效
| 申请号： | 201910687618.2 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110430651B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 吴丽;张文聪;余洁;刘壮;黄卡玛 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 成都擎智秉业专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李顺德 |
| 地址： | 610021 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平行 dbd 等离子体 发生器 | ||
【权利要求书】：
1.平行板DBD等离子体发生器，包括气体输入端口、上极板和下极板，所述气体输入端口用于提供工作介质，其特征在于，所述气体输入端口位于上极板中轴线上，所述上极板和气体输入端口之间安装有集气罩，所述上极板分布有气孔，所述工作介质通过所述气孔填充到上极板和下极板之间，所述上极板的气孔围绕中轴线均匀分布，距离所述中轴线距离相等的位置，气孔孔径相同，距离所述中轴线越远，气孔孔径越大。
2.根据权利要求1所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，所述气孔出气端具有倒角结构。
3.根据权利要求1所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，所述上极板和/或下极板为圆形极板。
4.根据权利要求3所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，上极板和下极板相对面边沿具有倒角结构。
5.根据权利要求3所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，所述集气罩是以上极板为下底，气体输入端口为上底的空心圆台。
6.根据权利要求1～5任意一项所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，所述上极板和/或下极板置于调节机构上，所述调节机构用于调节上极板和下极板之间的距离。
7.根据权利要求6所述的平行板DBD等离子体发生器，其特征在于，所述调节机构为螺纹调节机构。
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