[发明专利]电机模组拉力的测量装置

说明书

本发明公开了一种电机模组拉力的测量装置，包括：平衡机构，其设有相互形成滑动配合的导向单元和扣合板，所述扣合板连接位于其下方电机模组上设有的垂直运动单元；测力机构，固定设于所述平衡机构上方；第一弹性单元，连接设于所述测力机构与所述平衡机构之间；其中，当所述电机模组启动使所述垂直运动单元向下移动时，带动所述扣合板沿所述导向单元向下水平移动，并使所述第一弹性单元受力产生形变，所述测力机构感应并计算出所述第一弹性单元产生的形变力，得到所述电机模组所产生的拉力。本发明可有效解决现有测量设备本身形变量有限的问题，并可通过装置和力的传导，测量出具有一定行程产品的拉力。

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，更具体地，涉及一种针对半导体设备的电机模组进行拉力测试的测量装置。

背景技术

在半导体设备上，经常用到将电机的转动力矩转换为直线驱动方式的电机模组，为了验证将转动力矩转换为直线驱动方式时的驱动力，因此需要对电机模组在直线驱动时产生的例如拉力进行测试。这就需要通过拉力测量装置进行拉力测试。

现有的测量装置，只能单一地测量一种变量力，而且对测试产品行程有很大限制。此外，测量设备本身的形变量也是有限的。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种电机模组拉力的测量装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种电机模组拉力的测量装置，包括：

平衡机构，其设有相互形成滑动配合的导向单元和扣合板，所述扣合板连接位于其下方电机模组上设有的垂直运动单元；

测力机构，固定设于所述平衡机构上方；

第一弹性单元，连接设于所述测力机构与所述平衡机构之间；

其中，当所述电机模组启动使所述垂直运动单元向下移动时，带动所述扣合板沿所述导向单元向下水平移动，并使所述第一弹性单元受力产生形变，所述测力机构感应并计算出所述第一弹性单元产生的形变力，得到所述电机模组所产生的拉力。

进一步地，所述测力机构包括相连接的感应单元、计算单元和显示单元；其中，所述感应单元连接所述第一弹性单元，所述第一弹性单元将其受力产生的形变力传导至所述感应单元，所述计算单元根据所述感应单元的感应结果，计算出所述感应单元所受的力的大小，并将所述力的数值显示在所述显示单元上。

进一步地，所述测力机构为测力计，所述测力计设有感应器和控制器，所述控制器设有内部芯片和显示窗口，所述感应单元为所述感应器，所述计算单元为所述内部芯片，所述显示单元为所述显示窗口。

进一步地，所述导向单元为相对于所述扣合板对称设置的多个导向柱，所述导向柱垂直固定设置，所述扣合板水平穿设于所述导向柱中，并与所述导向柱形成滑动配合。

进一步地，所述第一弹性单元为拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的上下两端分设有吊钩，所述感应单元和所述扣合板上分设有吊环，所述拉伸弹簧通过所述吊钩与所述吊环之间的配合，实现与所述测力机构和所述平衡机构之间的连接，所述拉伸弹簧、所述感应单元和所述扣合板三者之间的重心线相重合。

进一步地，所述导向柱设于一平台上，位于所述扣合板与所述平台之间的所述导向柱上套设有第二弹性单元，所述垂直运动单元穿过所述平台连接所述扣合板。

进一步地，所述第二弹性单元为压缩弹簧。