[发明专利]一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910688910.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110257786B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张科;陈钦忠;叶开满;虞志轩 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F1/00;C22C29/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 薛红凡 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 锡靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种掺杂银的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将Ag粉体和SnO2粉体混合，得到混合粉体；
将所述混合粉体、水和三乙醇胺混合，得到第一混合浆料；
将所述第一混合浆料与聚乙烯醇混合，得到第二混合浆料；
将所述第二混合浆料喷雾干燥，得到干燥粉体；
将所述干燥粉体在靶材模具中进行冷等静压处理，得到胚体；
将所述胚体依次进行保温和烧结，得到所述掺杂银的氧化锡靶材；
所述Ag粉体和SnO2粉体的质量比为1:50～1:100。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述三乙醇胺的质量为混合粉体质量的0.2～0.6％。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚乙烯醇的质量为混合粉体质量的0.5～2％。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述干燥粉体的粒径为10～100μm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述冷等静压处理的压力为200～300MPa，保压时间为3～4min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述烧结的温度为1250～1600℃，时间为2～3h。
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