[发明专利]一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机

权利要求书

1.一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其结构包括靶材溅射主控台(qq1)、靶材溅射护套(qq2)、切换柄(qq3)、辅盖(qq4)、调控视板(qq5)、半导体靶材配叠转换冷却装置(qq6)，其特征在于：

所述靶材溅射护套(qq2)底端通过嵌入的方式安装在靶材溅射主控台(qq1)顶端，所述辅盖(qq4)顶端设有切换柄(qq3)，所述半导体靶材配叠转换冷却装置(qq6)装设于靶材溅射护套(qq2)内部，所述调控视板(qq5)底端采用电焊的方式固定连接于靶材溅射主控台(qq1)顶端。

2.如根据权利要求1所述的一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其特征在于：所述半导体靶材配叠转换冷却装置(qq6)包括套层配叠机构(31)、背接条(32)、插接被压片(33)、倒锥槽(34)、弹叠机构(35)，所述套层配叠机构(31)顶端中间位置固定安装有背接条(32)，所述倒锥槽(34)与套层配叠机构(31)为一体化结构，所述插接被压片(33)共设有三个呈垂直均匀安装在套层配叠机构(31)内侧壁，所述套层配叠机构(31)中间位置设有弹叠机构(35)，所述套层配叠机构(31)包括靶材辅套(1)、靶材内套(2)、靶材主套(3)、靶材(4)、分接套(5)、侧撑翻控机构(6)，所述靶材辅套(1)内表面与靶材内套(2)外表面贴合，所述靶材内套(2)底端通过嵌入的方式安装在靶材主套(3)内部，所述靶材(4)插嵌在靶材辅套(1)内部，所述分接套(5)与靶材内套(2)为一体化结构，所述侧撑翻控机构(6)固定安装在靶材内套(2)侧面。

3.如根据权利要求2所述的一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其特征在于：所述插接被压片(33)包括底片(a1)、滑条(a2)、中套片(a3)、顶分片(a4)、分导活动轴(a5)，所述顶分片(a4)通过嵌入的方式安装在中套片(a3)内部，所述底片(a1)内表面与中套片(a3)背面贴合，所述分导活动轴(a5)与顶分片(a4)机械连接在一起，所述滑条(a2)设于中套片(a3)左右两侧。

4.如根据权利要求2所述的一种半导体制冷靶材配叠转换冷却薄膜溅射机，其特征在于：所述弹叠机构(35)包括斜槽(351)、弹叠弧片(352)、连接片(353)、翻转底环(354)，所述斜槽(351)与弹叠弧片(352)为一体化结构，所述连接片(353)位于弹叠弧片(352)底部，所述翻转底环(354)通过嵌入的方式安装在弹叠弧片(352)内部。