[发明专利]半导体制程系统与方法

权利要求书

1.一种半导体制程系统，其特征在于，包含：

多个光罩，其中一半导体装置的一图案于一曝光显影制程中通过所述多个光罩中的每一个被定义，

其中所述多个光罩中的一第一光罩包含一第一身分码，该第一身分码用以分别该第一光罩与所述多个光罩中的剩余光罩；

多个储存装置，包含一第二身分码，并用以储存所述多个光罩；以及

一曝光装置，用以读取该第一身分码以从所述多个光罩中选择该第一光罩，以依据该第一光罩形成该半导体装置的该图案于一基板上，且该曝光装置更用以将该第一身分码转换成一无线射频识别标签信息，并用以将该无线射频识别标签信息写入所述多个储存装置上的该第二身分码。

2.根据权利要求1所述的半导体制程系统，其特征在于，还包含：

一显影装置，用以通过该第一光罩执行该曝光显影制程，以形成该图案于该基板上。

3.根据权利要求1所述的半导体制程系统，其特征在于，

其中所述多个储存装置中的一第一储存装置包含该第二身分码，以及该第二身分码用以指示在该第一储存装置中的一储存光罩预期为该第一光罩。

4.根据权利要求3所述的半导体制程系统，其特征在于，其中该曝光装置更用以读取该第二身分码，并用以决定该第二身分码是否符合该第一身分码，以从该第一储存装置取得该第一光罩。

5.根据权利要求4所述的半导体制程系统，其特征在于，其中该第二身分码符合该第一身分码时，一显影装置用以依据该第一光罩执行该曝光显影制程。

6.根据权利要求3所述的半导体制程系统，其特征在于，其中该曝光装置包含：

一影像辨识装置，用以读取该第一身分码；

一无线射频识别装置，用以读取该第二身分码；以及

一数据库，用以储存由该影像辨识装置读取的该第一身分码与由该无线射频识别装置读取的该第二身分码。

7.根据权利要求3所述的半导体制程系统，其特征在于，其中该第二身分码为一无线射频识别标签，以及该无线射频识别装置更用以写入该第二身分码。

8.根据权利要求3所述的半导体制程系统，其特征在于，其中该第一身分码为具有符号的一影像。

9.一种半导体制程方法，其特征在于，包含：

通过一曝光装置读取一影像，其中该影像指示一预定光罩的一独立身分；

通过该曝光装置将该影像转换成一无线射频识别标签信息，并将该无线射频识别标签信息写入一光罩储存装置上的一无线射频识别标签；

通过该曝光装置读取在该光罩储存装置上的该无线射频识别标签，其中该无线射频识别标签指示预期储存在该光罩储存装置中的一光罩的一独立身分；以及

通过该曝光装置比较该影像与该无线射频识别标签，以确认预期储存在该光罩储存装置中的该光罩是否为该预定光罩，以依据该预定光罩执行一曝光显影制程。

10.根据权利要求9所述的半导体制程方法，其特征在于，还包含：

响应该光罩为该预定光罩，通过一显影装置在该曝光显影制程中沉积一光阻于一基板上。

11.根据权利要求10所述的半导体制程方法，其特征在于，还包含：

通过该曝光装置在该曝光显影制程中使用该预定光罩曝光该基板。

12.根据权利要求11所述的半导体制程方法，其特征在于，还包含：

通过该显影装置显影该预定光罩的一布图于该基板上。

13.根据权利要求9所述的半导体制程方法，其特征在于，还包含：

通过该曝光装置依据该影像写入该光罩储存装置上的该无线射频识别标签，其中在该预定光罩上的该影像具有至少一符号。