[发明专利]一种测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法

权利要求书

1.一种测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法，其特征在于：测量装置包括磁力显微镜、探针、感应线圈、面内磁化隧道结和电阻测量线路，测量过程包括以下步骤：

S1、利用磁力显微镜、探针、面内磁化隧道结和电阻测量线路测得探针处于面内磁化隧道结不同高度时面内磁化隧道结的电阻，绘制垂直方向上探针抬举高度与面内磁化隧道结电阻之间的关系曲线Ⅰ，所述步骤S1中包括以下步骤，

S10、将面内磁化隧道结固定在磁力显微镜的样品台上，保持面内磁化隧道结位置不变；

S11、将探针安装到磁力显微镜上，进行原子力模式扫描样品台，找到面内磁化隧道结的位置；

S12、将探针以接触模式放置在面内磁化隧道结的正上方，设置不同的探针抬举高度，利用电阻测量线路测量面内磁化隧道结的电阻变化，绘制垂直方向上探针抬举高度与面内磁化隧道结电阻之间的关系曲线Ⅰ；

S2、利用磁力显微镜、感应线圈、面内磁化隧道结、电阻测量线路测得感应线圈中通入不同电流时面内磁化隧道结的电阻，绘制感应线圈产生的磁场强度与面内磁化隧道结的电阻之间的关系曲线Ⅱ，所述步骤S2包括以下步骤，

S20、在感应线圈中通入不同的电流，利用霍尔片测得感应线圈施加不同的电流时产生的磁场强度，获取感应线圈的磁场强度与施加电流的对应关系；

S21、将感应线圈放置在面内磁化隧道结的正下方，对感应线圈施加不同的电流，测量面内磁化隧道结的电阻的变化，获取对感应线圈施加电流的强度与面内磁化隧道结的电阻的对应关系；

S22、根据S20中获得的感应线圈的磁场强度与施加电流的对应关系和S21中施加电流与面内磁化隧道结的电阻的关系，绘制出感应线圈的磁场强度与面内磁化隧道结的电阻之间的关系曲线Ⅱ；

S3、查找曲线Ⅰ和曲线Ⅱ中电阻值相同的点分别对应的探针抬举高度和感应线圈产生的磁场强度，得到磁力显微镜探针在不同抬举高度时的杂散场强度值，最终实现磁力显微镜的定量测试。

2.根据权利要求1所述的测量磁力显微镜探针杂散场强度的方法，其特征在于：探针每次抬举的高度为2nm。