[发明专利]干式清洗装置

说明书

本发明提供干式清洗装置，其能够简单且有效地对集尘部的过滤器进行清扫。干式清洗装置具备：清洗槽，其具有，在清洗槽内收纳有清洗介质，清洗对象以覆盖开口的方式配置；气体供给部，其经由第一流路向清洗槽内供给所述气体；集尘部，从清洗槽排出的含有污垢的废气被排出到集尘部，并由配置在集尘部内的过滤器过滤；在集尘部中还设置有向过滤器喷射气体以清扫过滤器的清扫部，清扫部经由与第一流路并行的第二流路与气体供给部连通。

技术领域

本发明涉及利用气体使清洗介质飞散并对清洗对象碰撞而将附着于清洗对象的粉尘或污垢等去除的干式清洗装置。

背景技术

近年来，提出了不使用有机溶剂、水等液体就能够对清洗对象进行清洗的干式清洗技术。作为采用这种技术的干式清洗装置例如以下专利文献所示。

专利文献：(日本)特许第4531841号

这样的干式清洗装置具有清洗槽和向清洗槽内供给气体的气体供给部。清洗槽具有开口，呈板状的清洗对象以覆盖该开口的方式配置。在清洗槽内收纳有树脂薄片等清洗介质。通过由气体供给部向清洗槽内供给气体，而在清洗槽内形成旋流，使清洗介质飞散。飞散状态下的清洗介质碰撞清洗对象的表面，能够将附着的粉尘或污垢等去除，从而达到清洗的效果。

被去除的污垢通常从清洗槽排出后由集尘部回收。在集尘部中设有过滤器，通过对从清洗槽排出的含有污垢的废气进行过滤而回收污垢，被去除污垢的清洁气体被排出机外。

但是，在这样的集尘部中存在着污垢容易堵塞过滤器的问题，因此需要定期对过滤器进行清扫。现有技术中，通常利用刷子对过滤器进行清扫。这样的清扫动作可以通过手动进行，但存在着操作麻烦且花费时间的问题。若设置驱动刷子移动的驱动机构，则会导致集尘部的结构变复杂，而且由于刷子的清扫动作复杂，驱动机构的设计上也存在困难。

发明内容

鉴于上述情况，本发明提供干式清洗装置，其能够简单且有效地对集尘部的过滤器进行清扫。

本发明的干式清洗装置利用气体使清洗介质飞散并对清洗对象碰撞而将附着于所述清洗对象的污垢去除，其特征在于，具备：

清洗槽，其具有开口，在所述清洗槽内收纳有清洗介质，所述清洗对象以覆盖所述开口的方式配置；

气体供给部，其经由第一流路向所述清洗槽内供给所述气体；

集尘部，从所述清洗槽排出的含有污垢的废气被排出到所述集尘部，并由配置在所述集尘部内的过滤器过滤；

在所述集尘部中还设置有向所述过滤器喷射气体以清扫所述过滤器的清扫部，

所述清扫部经由与所述第一流路并行的第二流路与所述气体供给部连通。

根据上述结构，能够利用干式清洗装置中向清洗槽提供气体的结构构成对过滤器进行清扫的清扫部，因此相比现有技术中的刷式清扫部的结构，结构更简单且更容易设计。

另外，优选的是，所述气体供给部不同时向所述清洗槽和所述清扫部供给气体。

所述气体供给部在向所述清洗槽供给气体停止后向所述清扫部供给气体。

由此，虽然对过滤器的清扫动作和对清洗对象的清洗动作同样使用来自气体供给部的气体，但由于在对清洗对象清洗时，仅向清洗槽供给气体，因此对过滤器的清扫动作不会对清洗对象物的清洗效果造成影响。另一方面，在对过滤器进行清扫时，也能够确保对过滤器的清扫效果。

另外，优选的是，在所述集尘部中，在所述废气的流动方向上比所述过滤器靠上游侧的位置设置有对所述集尘部内的负压进行检测的负压检测部，

在由所述负压检测部检测的负压低于规定值的情况下，所述气体供给部向所述清扫部供给气体。