[发明专利]一种用于承载硅片的石墨框在审
| 申请号： | 201910698385.6 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110323165A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 陈其成;曹育红 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 网格 隔条 硅片 石墨框 承载 挂钩 整片 支承 四边 矩形硅片 矩形网格 板式 对边 分隔 | ||
1.一种用于承载硅片的石墨框，包括矩形网格，所述网格的四边分别设有用于支承硅片的挂钩；其特征在于，所述网格中还设有隔条；所述隔条的两端与网格的一对对边分别连接，且隔条的两侧都连接有用于支承硅片的挂钩。
2.根据权利要求1所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条与上述一对对边可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，上述一对对边分别设有：可供隔条端部插放的定位槽；该对对边上的定位槽对称设置；所述隔条的两端分别卡入一对对称设置的定位槽中。
4.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，上述一对对边都设有多个定位槽，同一边上的定位槽沿该边的延伸方向依次设置。
5.根据权利要求3所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，上述一对对边都设有多个定位槽，同一边上的定位槽沿该边的延伸方向等间隔依次设置。
6.根据权利要求1或2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条的数量为一个，该隔条与上述一对对边垂直，且该隔条将网格二等分。
7.根据权利要求1或2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条的数量为两个，该两个隔条都与上述一对对边垂直，且该两个隔条将网格三等分。
8.根据权利要求1或2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条的数量为三个，该三个隔条都与上述一对对边垂直，且该三个隔条将网格四等分。
9.根据权利要求1或2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条的数量为四个，该四个隔条都与上述一对对边垂直，且该四个隔条将网格五等分。
10.根据权利要求1或2所述的用于承载硅片的石墨框，其特征在于，所述隔条的数量为五个，该五个隔条都与上述一对对边垂直，且该五个隔条将网格六等分。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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