[发明专利]用于被动元件的表面处理工艺的治具有效
申请号: | 201910698975.9 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN112301330B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 丁肇诚 | 申请(专利权)人: | 抱朴科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;张燕华 |
地址: | 中国台湾台北市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 被动 元件 表面 处理 工艺 | ||
1.一种用于被动元件的表面处理工艺的治具,其特征在于,包括:
一承载板,其表面上形成有多个通风孔;
多个突起件,形成于所述承载板之上,且彼此相邻的任两个所述突起件之间具有不同高度;
多个侧板,垂直地设于所述承载板的周边,且各个所述侧板具有多个通风槽孔;
多个第一结合件,其中,各个所述第一结合件设于各个所述侧板的一第一侧边;以及
多个第二结合件,其中,各个所述第二结合件设于各个所述侧板的一第二侧边,且所述第二侧边与所述第一侧边为所述侧板的两相对边;
其中,各个所述突起件皆具有至少一个抵顶点,且彼此相邻的任两个所述突起件之间具有一间距,且所述间距小于一个表面黏着型被动元件的宽度,各个所述突起件以其所述抵顶点抵住所述表面黏着型被动元件;
其中,各个所述通风孔的孔径皆小于所述表面黏着型被动元件的宽度;
其中,将一个所述治具所具有的各个所述第一结合件与另一个所述治具所具有的各个所述第二结合件互相结合,使得两个所述治具相互堆叠。
2.根据权利要求1所述的治具,其特征在于,所述第一结合件与所述第二结合件分别为一结合孔与一嵌合柱。
3.根据权利要求1所述的治具,其特征在于,所述突起件为下列任一者:锥体、圆柱体、半球体、具圆顶的柱体。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的