[发明专利]一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法有效

专利信息
申请号: 201910700631.7 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN110416130B 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 栗甲婿;董想 申请(专利权)人: 沛顿科技(深圳)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B41K1/02
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 代理人: 徐康
地址: 518000 广东省深圳市福*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 激光 切割 针对 假片内单颗 ic 芯片 进行 盖印 方法
【权利要求书】:

1.一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:本方法针对wafer上进行不同IC盖印内容使用,包括如下步骤:

S1:通过激光切割设备对wafer进行激光切割,在wafer的左右两侧各切割出4颗或者更多单颗IC放置孔;

S2:丢弃wafer上切掉的8颗或者更多IC,在wafer的背面粘上胶带,制成单颗IC的盖印治具;

S3:将一条需要镭射不同盖印的基板跳过盖印工站,将基板完整契合在盖印治具上,对盖印治具的IC孔位进行切除后,放入单颗IC的盖印治具,可最多一次盖印8颗或者更多相同内容的单颗IC。

2.根据权利要求1所述的一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:所述激光切割设备为激光汽化切割、激光熔化切割、激光氧气切割中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:所述单颗IC的盖印治具以S1中切掉的wafer为基底,并在wafer底部贴上胶带形成,盖印治具具有成型的IC放置孔,所述IC放置孔可以是8个或8个以上。

4.根据权利要求1所述的一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:所述盖印工站盖印方式为镭射盖印。

5.根据权利要求1所述的一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:所述步骤S1中,如需对单颗IC进行盖印,在步骤S2无需贴胶带。

6.根据权利要求1所述的一种利用激光切割针对假片内单颗IC芯片进行盖印的方法,其特征在于:所述步骤S1中描述的单颗IC放置孔切割尺寸根据IC实际大小确定。

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