[发明专利]一种大尺寸单晶的收尾工艺及大尺寸单晶的制备工艺有效
| 申请号： | 201910700748.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112301414B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 郭谦;张文霞;高润飞;王林;徐强;霍志强;韩凯;武志军;郭志荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 收尾 工艺 制备 | ||
1.一种大尺寸单晶的收尾工艺，其特征在于，在等径生长结束后，依次包括
S1：稳定热场温度，阶梯式提高单晶拉速并保持埚转速度不变，使单晶直径缩小至比等径直径低；
S2：迅速提高加热器功率以提升热场温度，并将埚转速度降低，同时对所述S1中的单晶拉速进行阶梯式降速，所述单晶拉速降低一定速度后保持不变直至收尾结束；
所述S1中，所述单晶拉速是先慢后快，最终稳定在70-100mm/hr；
所述S1中，单晶收尾直径缩小至比等径直径低80-150mm，收尾高度为70-100mm；
在所述S2中的前半段将所述埚转速度降低至1-5r/min；
所述S2中，所述单晶拉速降低是先快后慢，所述单晶拉速降低的速度范围值为10-20mm/hr。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶的收尾工艺，其特征在于，所述S1中，所述等径温度为1200-1300SP；所述埚转速度为8-12r/min。
3.根据权利要求1或2所述的一种大尺寸单晶的收尾工艺，其特征在于，所述S2中，所述加热器功率是在等径结束时的加热器功率基础上一次性提高20-30kW。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸单晶的收尾工艺，其特征在于，本阶段中单晶生长高度为80-90mm；所述单晶收尾结束后直径缩小至0-80mm。
5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种大尺寸单晶的收尾工艺，其特征在于，所述单晶直径为240-310mm；所述单晶的收尾总高度为150-200mm。
6.一种大尺寸单晶的制备工艺，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项所述的大尺寸单晶的收尾工艺。
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