[发明专利]具有多级冷却的装置有效
申请号: | 201910701040.1 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN110779357B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 诺吉·A·贾金德拉;阿鲁尔·瓦桑·萨布拉曼尼亚 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | F28D7/08 | 分类号: | F28D7/08;F28F21/08;H01J37/32 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 多级 冷却 装置 | ||
1.一种被配置以与流动流体交换热量的热交换器,包含:
第一安装凸缘,具有通过所述第一安装凸缘的连接表面延伸的中央开口,其中所述连接表面平行于第一平面;
第二安装凸缘,具有通过所述第二安装凸缘的连接表面延伸的中央开口,其中所述第二安装凸缘与所述第一安装凸缘在第一方向上以一距离设置;
外壁,被配置以包围所述热交换器的内部区域,其中所述外壁和内部区域设置在所述第一安装凸缘和所述第二安装凸缘之间;
内壁,设置在所述内部区域之内,其中所述内壁定位以将所述内部区域的热交换区域与所述内部区域的外侧区域隔离,所述外侧区域由形成在所述内壁和所述外壁之间的空间限定;
热交换流体入口和热交换流体出口,其中所述热交换流体入口和所述热交换流体出口各自与所述外侧区域流体连通;和
锥形托盘,设置在所述内壁之内,其中所述锥形托盘的底部具有封闭端,并且所述锥形托盘被配置以收集通过所述第一安装凸缘的所述中央开口的颗粒并且防止所述颗粒进入所述热交换器。
2.如权利要求1所述的热交换器,其中所述热交换流体入口具有与所述外侧区域流体连通的开口,并且所述热交换流体入口设置在比所述第二安装凸缘更接近所述第一安装凸缘的位置处。
3.如权利要求1所述的热交换器,其中所述热交换流体出口具有与所述外侧区域流体连通的开口,并且所述热交换流体出口设置在比所述第二安装凸缘更接近所述第一安装凸缘的位置。
4.如权利要求1所述的热交换器,其中所述热交换流体入口的开口的面积大体上等于进水口的面积。
5.如权利要求1所述的热交换器,进一步包含观察口,所述观察口具有通过所述外壁延伸的开口,其中所述开口被定向以允许位于所述外壁之外的使用者经由所述开口查看所述锥形托盘的至少一部分。
6.如权利要求1所述的热交换器,进一步包含偏转器,所述偏转器被配置以偏转通过所述中央开口的气体。
7.如权利要求6所述的热交换器,其中所述偏转器包含集成唇部。
8.一种被配置以与流动流体交换热量的热交换器,包含:
第一安装凸缘,具有与第一平面平行的连接表面和通过所述连接表面延伸的中央开口;
第二安装凸缘,具有连接表面,其中所述第二安装凸缘与所述第一安装凸缘在第一方向上以一距离设置;和
热交换主体,设置在所述第一安装凸缘与所述第二安装凸缘之间并且与所述第一安装凸缘和所述第二安装凸缘耦接,其中所述热交换主体包含:
外壁,被配置以包围所述热交换主体的内部区域,且所述内部区域具有大体上垂直于所述第一平面的中心轴;
内壁,设置在所述内部区域之内,其中所述内壁定位以将所述内部区域的热交换区域与所述内部区域的外侧区域隔离;
锥形托盘,设置在所述内壁之内,其中所述锥形托盘的底部具有封闭端,并且所述锥形托盘被配置以收集通过所述第一安装凸缘的所述中央开口的颗粒并且防止所述颗粒进入所述热交换器,并且其中
所述内壁具有相邻于所述热交换区域的热交换表面,
所述热交换表面的至少一部分具有在平行于所述中心轴的方向上变化的弯曲部分,并且
在所述热交换表面上的任何点处的所述弯曲部分的切线具有相对于中心轴的小于或等于60度的角度。
9.如权利要求8所述的热交换器,进一步包含热交换流体入口,所述热交换流体入口具有与所述外侧区域流体连通的开口,并且设置在比所述第一安装凸缘更接近所述第二安装凸缘的位置。
10.如权利要求9所述的热交换器,进一步包含热交换流体出口,所述热交换流体出口具有与所述外侧区域流体连通的开口,并且设置在比所述第二安装凸缘更接近所述第一安装凸缘的位置。
11.如权利要求8所述的热交换器,其中所述热交换主体具有150 mm与200 mm之间的直径。
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