[发明专利]基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法在审
| 申请号： | 201910701219.7 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110411371A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 孔金星;陈宇;杜东兴;黄文;陈一;汤金钢;马绍兴 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B15/04;G06T7/13 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刀具刃口 刻蚀 参考点 切削 刀具 轮廓数据 轮廓提取 刀具磨损 扫描电镜 退化曲线 起始点 圆弧面 钝圆 后刀 景深 腔内 显微镜 退化 分析 | ||
1.基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，先在扫描电镜腔内使用FIB模式对刀具后刀面上的圆弧面进行刻蚀获取参考点，然后在超景深显微镜下，基于参考点提取刀具刃口轮廓。
2.根据权利要求1所述的基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)、将刀具固定后放入扫描电镜腔内，调整扫描电镜倍率和焦距直到能够清晰观察到刀具后刀面上的圆弧面；
2)、切换到FIB模式，刻蚀参考点；
3)、在超景深显微镜下，每次切削一定距离后，将参考点作为提取线的起始点提取刀具刃口轮廓数据。
3.根据权利要求2所述的基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，所述参考点与刀具刀尖的距离为200μm。
4.根据权利要求2所述的基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，所述参考点为十字叉的交点。
5.根据权利要求4所述的基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，所述参考点的刻蚀过程为：
选择水平刻蚀矩形框的位置，设置刻蚀参数，刻蚀模式设置为深度模式，水平刻蚀矩形框刻蚀完后旋转90度后再刻蚀竖直矩形框，最终在圆弧面上获得十字叉，十字叉的交点即为所需的参考点。
6.根据权利要求5所述的基于FIB刻蚀的刀具刃口轮廓提取方法，其特征在于，所述刻蚀参数为：刻蚀宽度为45μm，刻蚀高度为1.3μm，刻蚀深度为20μm，刻蚀层数为2层，刻蚀电流为30kV4nA。
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