[发明专利]一种可动刀口装置、光刻设备及光刻方法

权利要求书

1.一种可动刀口装置，其特征在于，包括支撑单元(100)、刀口尺寸调节组件、振动消除组件和气浮组件，其中，

所述支撑单元(100)上设置有通光孔(101)；

所述刀口尺寸调节组件包括：

X向开口尺寸调节单元(200)，沿X轴方向设置于所述支撑单元(100)一侧，所述X向开口尺寸调节单元(200)包括共轨运动的X1模组(1)和X2模组(2)，所述X1模组(1)和所述X2模组(2)能够相对运动，所述X1模组(1)和所述X2模组(2)上分别设有一X向刀片(3)；

所述X向开口尺寸调节单元(200)还包括X向气浮导轨，所述X向气浮导轨设置于所述支撑单元(100)一侧，所述X1模组(1)和所述X2模组(2)均滑动设置于所述X向气浮导轨上；Y向开口尺寸调节单元(300)，沿Y轴方向设置于所述支撑单元(100)一侧，所述Y轴方向与所述X轴方向垂直，所述Y向开口尺寸调节单元(300)包括共轨运动的Y1模组(4)和Y2模组(5)，所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)能够相对运动，所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)上分别设有一Y向刀片(6),两片所述X向刀片(3)和两片所述Y向刀片(6)围合而成预设形状的照明视场，所述通光孔(101)位于所述照明视场中；

所述Y向开口尺寸调节单元(300)还包括Y向气浮导轨(7)，所述Y向气浮导轨(7)设置于所述支撑单元(100)一侧，所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)均滑动设置于所述Y向气浮导轨(7)上;

所述振动消除组件包括：

X向振动消除单元，沿X轴方向设置于所述支撑单元(100)另一侧，用于抵消所述X向开口尺寸调节单元(200)运动时产生的振动力；

Y向振动消除单元(400)，沿Y轴方向设置于所述支撑单元(100)另一侧，用于抵消所述Y向开口尺寸调节单元(300)运动时产生的振动力；

所述气浮组件设置于所述支撑单元(100)与所述刀口尺寸调节组件之间，及所述支撑单元(100)与所述振动消除组件之间，所述气浮组件被配置为能在所述支撑单元(100)与所述刀口尺寸调节组件之间、所述支撑单元(100)与所述振动消除组件之间形成气膜(9)。还包括电气安全限位组件，所述电气安全限位组件包括设置在所述X1模组(1)和所述X2模组(2)其中一个上的及所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)其中一个上的限位探测部(10)，及设置在另一个上的限位检测部(11)，所述限位检测部(11)被配置为能根据与所述限位探测部(10)之间的距离改变电气输出状态;

还包括机械安全限位组件，所述机械安全限位组件包括设置在所述X1模组(1)和所述X2模组(2)其中一个上的及所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)其中一个上的限位缓冲部(12)，及设置在另一个上的限位凸块(13)，所述限位缓冲部(12)被配置为能吸收与所述限位凸块(13)的碰撞能量。

2.根据权利要求1所述的可动刀口装置，其特征在于，

所述X1模组(1)和所述X2模组(2)均包括X向驱动部和X向滑块，所述X向驱动部用于驱动所述X向滑块运动，所述X向滑块滑动设置于所述X向气浮导轨上，所述X向刀片(3)设置于所述X向滑块上；

所述Y1模组(4)和所述Y2模组(5)均包括Y向驱动部和Y向滑块(8)，所述Y向驱动部用于驱动所述Y向滑块(8)运动，所述Y向滑块(8)滑动设置于所述Y向气浮导轨(7)上，所述Y向刀片(6)设置于所述Y向滑块(8) 上。