[发明专利]一种石墨烯/六硼化镧复合薄膜、制备方法及应用

权利要求书

1.一种石墨烯/六硼化镧复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜采用硅或石英玻璃为基底，基底表面具有石墨烯/六硼化镧复合薄膜；

所述石墨烯/六硼化镧复合薄膜的制备方法为：通过气相沉积法在铜衬底上沉积得到石墨烯，将石墨烯转移到硅或石英玻璃基底上，通过磁控溅射在基底上获得GN/LaB₆复合薄膜；

所述气相沉积具体步骤如下：将管式炉内抽真空处理，通入氢气和氩气，升温至1000～1200℃后保温一段时间，通入甲烷、关闭氩气，待石墨烯生长完成后，随炉冷却至室温；所述氢气和氩气的流量比为H₂：Ar＝10～30:900～1100；所述升温采取阶段性升温方式；通入甲烷时间为10～20min；所述甲烷和氢气的流量比为4:20；

所述磁控溅射的功率为42W，时间为4min，所述磁控溅射完成后还包括热处理步骤，所述热处理为600℃下保温1h。

2.如权利要求1所述石墨烯/六硼化镧复合薄膜，其特征在于，随炉冷却至室温后，继续通一段时间氩气，使炉内压强接近大气压。

3.如权利要求1所述石墨烯/六硼化镧复合薄膜，其特征在于，所述石墨烯转移采用PMMA辅助法。

4.如权利要求3所述石墨烯/六硼化镧复合薄膜，其特征在于，采用PMMA的氯代苯溶液将铜衬底上的石墨烯转移至基底上。