[发明专利]分离装置

说明书

本发明提供了一种分离装置。分离装置包括：固定机构，包括固定吸板组件和辅助吸附平台，固定吸板组件为叉状结构，固定吸板组件相对辅助吸附平台固定设置，辅助吸附平台包括辅助吸板和驱动机构，驱动机构用于驱动辅助吸板相对固定吸板组件移动；旋转机构，包括驱动组件和薄膜吸附组件；薄膜吸附组件的吸附平面具有与固定吸板组件和辅助吸附平台的吸附平面相对，且薄膜吸附组件的吸附平面与固定吸板组件的吸附平面相贴合的结合位置；薄膜吸附组件的吸附平面具有与固定吸板组件和辅助吸附平台的吸附平面相互分离的分离位置。本发明的分离装置能够提高晶片和薄膜的分离成功率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制作技术领域，具体而言，涉及一种分离装置。

背景技术

新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大技术领域之一。太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源。而光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等优点。

太阳能电池生产过程中，可以在将薄膜(例如薄的光伏膜)与生长的晶片(例如砷化镓基板)分离。通过分离设备将太阳能电池和生长太阳能电池的衬底剥离。分离出的晶片或衬底(例如砷化镓晶片)经过抛光和清洗后可重复使用多次，从而显著降低薄膜发电的成本。

目前的太阳能电池剥离包括湿法分离和干法分离。湿法分离是通过刻蚀液将太阳能电池芯片和衬底之间的牺牲层刻蚀掉。但是，刻蚀后的太阳能电池的晶片和薄膜依靠表面张力贴合在一起。当需要将晶片和薄膜分离时，现有的分离装置的分离成功率很低。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种分离装置，以解决现有技术中的分离装置的分离成功率比较低的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种分离装置，包括：固定机构，所述固定机构包括固定吸板组件和辅助吸附平台，所述固定吸板组件为叉状结构，所述固定吸板组件相对所述辅助吸附平台固定设置，所述辅助吸附平台包括辅助吸板和驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述辅助吸板相对所述固定吸板组件移动；所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台分别包括吸附平面，当所述辅助吸附平台与所述固定吸板组件之间的距离最近时，所述固定吸板组件的吸附平面和所述辅助吸附平台的吸附平面位于同一平面；旋转机构，所述旋转机构包括驱动组件和薄膜吸附组件，所述驱动组件包括旋转运动的输出轴，所述驱动组件相对所述固定吸板组件固定设置，所述薄膜吸附组件与所述驱动组件的输出轴连接，所述薄膜吸附组件包括吸附平面；所述驱动组件带动所述薄膜吸附组件旋转过程中：所述薄膜吸附组件的吸附平面具有与所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台的吸附平面相对，且所述薄膜吸附组件的吸附平面与所述固定吸板组件的吸附平面相贴合的结合位置；所述薄膜吸附组件的吸附平面具有与所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台的吸附平面相互分离的分离位置。

进一步地，所述薄膜吸附组件包括：上盖板和下盖板，所述上盖板和所述下盖板围设形成第一密闭腔室，所述下盖板上设置有多个贯穿的小孔，所述小孔与所述第一密闭腔室连通，所述第一密闭腔室与真空设备连通。

进一步地，所述固定机构还包括第一安装板；所述驱动机构为滑台气缸，所述滑台气缸固定在所述第一安装板的侧面以驱动所述辅助吸板升降。

进一步地，所述辅助吸板与所述滑台气缸的活塞杆固定连接，所述辅助吸板包括第二密闭腔室，所述辅助吸板上均匀设置有多个第一真空吸附孔，所述第一真空吸附孔位于所述辅助吸板的吸附平面上。

进一步地，所述辅助吸板上设置有两个定位凹槽，所述叉状结构包括两个分叉结构，所述定位凹槽与一个所述分叉结构相匹配，当所述固定吸板组件的吸附平面和所述辅助吸附平台的吸附平面位于同一平面时，所述分叉结构的端部一一对应地安装在所述定位凹槽内。