[发明专利]一种大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法在审
| 申请号： | 201910703397.3 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112301425A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 宋瑞强;张文霞;高润飞;徐强;武志军;郭谦;郭志荣;韩凯;赵志远 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 单晶硅 棒大氩气 流量 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：包括融料、稳温、引晶、放肩、转肩、等径和收尾，稳温、引晶、放肩、转肩、等径过程保持上氩气流量为90-120SLPM，保持炉压25Mpa。
2.根据权利要求1所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：稳温、引晶、放肩阶段保持上氩气流量为100-120SLPM；所述转肩阶段保持上氩气流量为100-110SLPM；所述等径阶段保持上氩气流量为90-100SLPM。
3.根据权利要求2所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：融料和收尾阶段保持上氩气流量为90-120SLPM。
4.根据权利要求2所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：融料和收尾阶段保持上氩气流量为60-80SLPM。
5.根据权利要求1-4中任一所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：下氩气流量为20-30 SLPM。
6.根据权利要求1-5所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：引晶阶段熔接直径上限为16.5mm，熔接直径下限为13mm，最小直径值为10mm。
7.根据权利要求6所述的大尺寸单晶硅棒大氩气流量拉晶方法，其特征在于：引晶增益值为0.085。
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