[发明专利]一种分层控温的多晶铸锭炉在审
| 申请号： | 201910707552.9 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110257907A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈旭光;邓清香;张涛;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孙晓红 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 侧部加热器 多晶铸锭炉 冷却台 分层 硅锭 控温 炉体 加热器 电池转换效率 高度方向设置 顶部加热器 多晶硅锭 供电模块 精准调整 炉体内部 温度梯度 硅料 热场 外周 位错 周部 加热 增殖 冷却 体内 生产 | ||
1.一种分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，包括炉体(9)、设于所述炉体(9)底部、用以放置硅料的冷却台和设于所述炉体(9)内部与所述冷却台外周之间的加热器；
所述加热器包括设于所述冷却台周部且沿所述炉体(9)高度方向设置的多个侧部加热器和设于所述侧部加热器及所述冷却台上方的顶部加热器(7)；
多个所述侧部加热器分别连接不同的供电模块以便于分别控制任一所述侧部加热器的加热温度。
2.根据权利要求1所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述侧部加热器包括设于所述冷却台的下周部的第一侧部加热器(3)和设于所述第一侧部加热器(3)上方的第二侧部加热器(5)；
所述供电模块包括连接所述第一侧部加热器(3)的第一供电模块和连接所述第二侧部加热器(5)连接第二供电模块。
3.根据权利要求2所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述第一侧部加热器(3)和所述第二侧部加热器(5)的相同侧的加热片位于同一竖直平面内。
4.根据权利要求3所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，还包括连接所述第一侧部加热器(3)的第一温度传感器(4)、连接所述第二侧部加热器(5)的第二温度传感器(6)和连接所述顶部加热器(7)的顶部温度传感器(8)。
5.根据权利要求4所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述顶部加热器(7)与所述第二侧部加热器(5)串接。
6.根据权利要求4所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，还包括连接所述顶部加热器(7)的顶部供电模块。
7.根据权利要求6所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述第一侧部加热器(3)、所述第二侧部加热器(5)和所述顶部加热器(7)均为石墨加热器。
8.根据权利要求2至7任一项所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，还包括设于所述第二侧部加热器(5)上方的第三侧部加热器以及连接所述第三侧部加热器的第三供电模块和第三温度传感器。
9.根据权利要求8所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述加热器和所述炉体(9)之间设有用以隔热保温的隔热笼(2)。
10.根据权利要求9所述的分层控温的多晶铸锭炉，其特征在于，所述冷却台的周向设有坩埚护板组件(1)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司，未经晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910707552.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
