[发明专利]夹持装置

说明书

本发明提供一种夹持装置，其包括能够相对移动的两个主夹持件，所述主夹持件具有夹持面；在至少一个主夹持件的夹持面设置有至少一辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述主夹持件之间设置有弹性缓冲件，以使所述辅助夹持件能够相对所述主夹持件弹性移动，所述辅助夹持件的外露表面及未设置所述辅助夹持件的主夹持件的夹持面作为所述夹持装置的工作面。本发明的优点在于，施加在主夹持件上的外力通过弹性缓冲件缓冲后作用于样品，使得直接作用于样品的夹持力被减小，从而避免过大的夹持力导致样品碎裂的情况发生，夹持装置在作用于所述样品的过程中不破坏所述样品。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种夹持装置。

背景技术

在半导体工艺制程中或者半导体产品转移过程中，需要用夹持装置夹持样品而使样品移动。现有的夹持装置采用夹持端部夹持样品。由于所述样品的厚度较薄，例如，对于芯片类样品，其厚度仅可能为50微米～80微米，而且所述夹持装置通过所述夹持端部施加于所述样品的夹持力又无法控制，则在所述夹持装置作用于所述样品的过程中易导致所述样品碎裂。

因此，如何使夹持装置在作用于所述样品的过程中不破坏所述样品，是目前亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种夹持装置，其能够控制夹持力，使得其在作用于所述样品的过程中不破坏所述样品。

为了解决上述问题，本发明提供了一种夹持装置，其包括能够相对移动的两个主夹持件，所述主夹持件具有夹持面；在至少一个主夹持件的夹持面设置有至少一辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述主夹持件之间设置有弹性缓冲件，以使所述辅助夹持件能够相对所述主夹持件弹性移动，所述辅助夹持件的外露表面及未设置所述辅助夹持件的主夹持件的夹持面作为所述夹持装置的工作面。

进一步，在两个所述主夹持件的夹持面均设置有至少一辅助夹持件，所述辅助夹持件的外露表面作为所述夹持装置的工作面。

进一步，所述辅助夹持件的首端突出于所述主夹持件的端部。

进一步，所述弹性缓冲件为弹簧，所述弹簧的两端分别与所述辅助夹持件的表面及所述主夹持件的夹持面连接。

进一步，所述夹持装置还包括至少一固定件，所述固定件将所述辅助夹持件的尾端连接至所述主夹持件。

进一步，所述弹性缓冲件包括弹簧、第一挡柱及第二挡柱，所述第一挡柱设置在所述辅助夹持件的表面，所述第二挡柱设置在所述主夹持件的夹持面，所述第一挡柱与所述第二挡柱相对设置，所述第一挡柱与所述第二挡柱之间具有间隙，所述弹簧套设在所述第一挡柱与所述第二挡柱上。

进一步，分别设置在两个所述主夹持件的夹持面的所述辅助夹持件的长度相同。

进一步，分别设置在两个所述主夹持件的夹持面的所述辅助夹持件正对设置。

进一步，所述主夹持件包括尾部、中部及端部，所述中部连接所述尾部及所述端部，两个所述主夹持件的尾部相连，所述辅助夹持件设置在所述主夹持件的端部。

本发明的优点在于，在至少一个主夹持件的夹持面设置有至少一辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述主夹持件之间设置有弹性缓冲件，施加在主夹持件上的外力通过弹性缓冲件缓冲后作用于样品，使得直接作用于样品的夹持力被减小，从而避免过大的夹持力导致样品碎裂的情况发生，夹持装置在作用于所述样品的过程中不破坏所述样品。

附图说明

图1是本发明夹持装置的第一具体实施方式的结构示意图；

图2是第一具体实施方式的夹持装置工作时的示意图；

图3是本发明夹持装置的第二具体实施方式的结构示意图；

图4是本发明夹持装置的第三具体实施方式的结构示意图；