[发明专利]耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件有效
| 申请号： | 201910711558.3 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN112301321B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陆涛;王杰;王丽媛 | 申请（专利权）人： | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 200241 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冲蚀 涂层 制备 方法 及其 被覆 | ||
1.一种耐冲蚀涂层的制备方法，其特征在于，
使用PIIID将Ti元素和N元素注入并沉积至基体表面，形成TiN涂层；以及
使用PIIID将Si元素注入到所述TiN涂层，对所述TiN涂层的浅表层进行改性，形成TiSiN层，获得一层耐冲蚀涂层；
重复制备所述TiN涂层和所述TiSiN层至少一次，进而获得多层耐冲蚀涂层；
在执行所述Ti元素和N元素注入并沉积的步骤中，抽真空至真空度高于5×10-3Pa，使用Ti材作为阴极，离化阴极，通入N2作为气体源，使用低电压在基体表面制备所述TiN涂层；抽真空至高于5×10-3Pa真空度，使用Si材作为阴极，离化阴极，使用高电压在所述TiN涂层表面注入Si元素；
所述TiN涂层的厚度不超过500nm，所述TiSiN层的厚度不超过100nm，Si元素原子百分比控制在在1%~15%间，所述多层耐冲蚀涂层的层数在50层以内；
所述制备方法在同一PIIID设备中制备，在制备的TiN涂层和所述TiSiN层过程中不降低本底真空度。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在执行所述Ti元素和N元素注入并沉积的步骤之前，在PIIID设备的真空腔中通入Ar作为气体源，使用射频电源离化气体，对基体表面进行Ar溅射清洗。
3.一种耐冲蚀涂层，其特征在于，由权利要求1或2中任一项所述的制备方法获得。
4.一种被覆盖件，其特征在于，其表面具有如权利要求3所述的被覆盖件。
5.如权利要求4所述的被覆盖件，其特征在于，该被覆盖件为压气机叶片，由钛合金制成。
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