[发明专利]耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件有效
申请号: | 201910711558.3 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN112301321B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 陆涛;王杰;王丽媛 | 申请(专利权)人: | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;C23C14/06;C23C14/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 200241 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冲蚀 涂层 制备 方法 及其 被覆 | ||
1.一种耐冲蚀涂层的制备方法,其特征在于,
使用PIIID将Ti元素和N元素注入并沉积至基体表面,形成TiN涂层;以及
使用PIIID将Si元素注入到所述TiN涂层,对所述TiN涂层的浅表层进行改性,形成TiSiN层,获得一层耐冲蚀涂层;
重复制备所述TiN涂层和所述TiSiN层至少一次,进而获得多层耐冲蚀涂层;
在执行所述Ti元素和N元素注入并沉积的步骤中,抽真空至真空度高于5×10-3Pa,使用Ti材作为阴极,离化阴极,通入N2作为气体源,使用低电压在基体表面制备所述TiN涂层;抽真空至高于5×10-3Pa真空度,使用Si材作为阴极,离化阴极,使用高电压在所述TiN涂层表面注入Si元素;
所述TiN涂层的厚度不超过500nm,所述TiSiN层的厚度不超过100nm,Si元素原子百分比控制在在1%~15%间,所述多层耐冲蚀涂层的层数在50层以内;
所述制备方法在同一PIIID设备中制备,在制备的TiN涂层和所述TiSiN层过程中不降低本底真空度。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在执行所述Ti元素和N元素注入并沉积的步骤之前,在PIIID设备的真空腔中通入Ar作为气体源,使用射频电源离化气体,对基体表面进行Ar溅射清洗。
3.一种耐冲蚀涂层,其特征在于,由权利要求1或2中任一项所述的制备方法获得。
4.一种被覆盖件,其特征在于,其表面具有如权利要求3所述的被覆盖件。
5.如权利要求4所述的被覆盖件,其特征在于,该被覆盖件为压气机叶片,由钛合金制成。
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