[发明专利]准分子灯在审
| 申请号： | 201910712203.6 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN111916337A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 孙立峰;坂元弘实 | 申请（专利权）人： | 崇翌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04;H01J61/04;H01J61/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子灯，包括：
放电容器，由透光介质所构成，所述放电容器的内部存在密封空间，所述密封空间存在放电用气体；
金膜，设置于所述放电容器的上侧，并且所述金膜同时作为所述准分子灯的第一电极及反射膜；以及
第二电极，设置于所述放电容器的下侧。
2.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述第二电极的材料为金。
3.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述金膜作为电性连接至电源的所述第一电极以及所述反射膜，其中所述反射膜用于反射来自于所述放电用气体的放光。
4.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述金膜的厚度为1.0μm～3.5μm。
5.根据权利要求1所述的准分子灯，其中所述准分子灯在放出波长为172nm的紫外线3000小时的照度衰减率小于5％。
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