[发明专利]蒸镀金属掩膜板有效
申请号: | 201910712625.3 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN110331364B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 魏锋;李金川 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀金 属掩膜板 | ||
本发明提供了一种蒸镀金属掩膜板,包括:一掩模板框架,其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框,所述横向边框上开设有第一倾斜槽;一掩模部,其设置于所述掩模板框架上,所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条,所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔,所述横向条与所述横向边框平行,所述纵向条与所述纵向边框平行,所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中,所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。本发明通过将位于两边的掩模板框架的横向边框倾斜设置,从而降低了掩膜板阴影效果,提高OLED显示面板的质量。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种蒸镀金属掩膜板。
背景技术
OLED显示屏具有低功耗、体积小、超薄、可视角大等等优势,其应用方向非常广泛,被业内认可为下一代优秀显示器件,OLED在显示终端TV市场的应用,随着时间推移将普及。
OLED自发光依靠有机OLED材料。OLED材料成膜是器件制作关键工艺,针对不同产品需要不同开口的金属掩膜板来实现像素开口及定义,OLED金属掩膜板的设计、制作、使用等精度要求高。
蒸镀成膜过程中,金属掩膜板的精度、与基板贴合度、使用变形等问题可导致器件制作不良,特别是大尺寸OLED面板制作中,由于掩膜板的掩膜部长度长、宽度宽,掩膜板边缘及即成膜边缘镀膜出现不均匀现象,造成严重的阴影问题,导致器件不良等问题。
本发明提供一种大尺寸OLED显示器件蒸镀制程中使用的金属掩膜板,通过掩膜板设计解决掩膜板阴影效果,可以提高基板利用率,提高产品竞争力。
因此,现有技术存在缺陷,急需改进。
发明内容
本发明提供一种蒸镀金属掩膜板板,可以降低掩膜板阴影效果,提高OLED显示面板的质量。
本发明提供了一种蒸镀金属掩膜板,包括:
一掩模板框架,其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框,所述横向边框上开设有第一倾斜槽;
一掩模部,其设置于所述掩模板框架上,所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条,所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔,所述横向条与所述横向边框平行,所述纵向条与所述纵向边框平行,所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中,所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,所述纵向边框上开设有第二倾斜槽,所述多个纵向条中位于两边的两个纵向条倾斜地插设在所述第二倾斜槽中,所述两个纵向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,所述第二倾斜槽包括第三侧壁面以及第四侧壁面,所述第四侧壁面的一边与对应纵向边框的内侧面连接,所述第四侧壁面的另一相对边与所述第三侧壁面的底边连接,所述第三侧壁面的顶边与所述纵向边框的上表面连接。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,所述第一倾斜槽包括第一侧壁面以及第二侧壁面,所述第二侧壁面的一边与对应横向边框的内侧面连接,所述第二侧壁面的另一相对边与所述第一侧壁面的底边连接,所述第一侧壁面的顶边与所述横向边框的上表面连接。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,两个倾斜的横向条之间的多个横向条、倾斜的纵向条之间的多个纵向条为一体成型结构,且该一体成型的纵向条和横向条的上表面和下表面均齐平。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,所述横向条以及所述纵向条均呈扁平的长方体条状,所述第三侧壁面以及第四侧壁面相互垂直,所述第一侧壁面以及第二侧壁面相互垂直。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中,所述横向边框以及纵向边框均呈扁平的长方体条状。
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