[发明专利]一种窄线宽外腔激光器及光模块

权利要求书

1.一种窄线宽外腔激光器，包括密封壳体，所述密封壳体设有光学接口和电学接口；其特征在于：

还包括设于所述密封壳体内的外部谐振腔，以及设于所述外部谐振腔内的增益芯片和可调谐的波长选择元件；

所述电学接口用于传输电学信号，所述电学信号包括驱动信号、选波信号、腔长控制信号和抖动控制信号；

所述驱动信号驱动所述增益芯片发出光束，所述光束在所述外部谐振腔内谐振产生激光模式；

所述选波信号调谐所述波长选择元件选择所需的波长；

所述腔长控制信号用于调节所述外部谐振腔的光学腔长，以使所述激光模式与所述波长选择元件的波长对齐；

所述抖动控制信号用于控制所述外部谐振腔的光学腔长产生抖动，以锁定输出光束的中心波长；

所述抖动控制信号通过调节所述增益芯片来使所述外部谐振腔的光学腔长抖动。

2.根据权利要求1所述的外腔激光器，其特征在于：

所述抖动控制信号叠加在所述增益芯片的偏置电流上，通过调节所述增益芯片的偏置电流来改变所述外部谐振腔的腔长，以产生光学抖动。

3.根据权利要求2所述的外腔激光器，其特征在于：

所述外腔激光器还包括致动器，所述外部谐振腔的一个腔面设于所述致动器上；所述腔长控制信号通过控制所述致动器的形变使所述致动器上的所述腔面产生位移，以改变所述外部谐振腔的光学腔长。

4.根据权利要求3所述的外腔激光器，其特征在于：所述增益芯片设置在所述致动器上，所述外部谐振腔的一个腔面设于所述增益芯片远离所述波长选择元件的端面上。

5.根据权利要求3所述的外腔激光器，其特征在于：

所述激光器还包括一耦合透镜，所述耦合透镜位于所述外部谐振腔的输出光路上；所述耦合透镜包括靠近所述外部谐振腔的平面和远离所述外部谐振腔的球面或非球面；所述外部谐振腔的输出腔面设于所述耦合透镜的所述平面上，所述耦合透镜设于所述致动器上。

6.根据权利要求3所述的外腔激光器，其特征在于：

所述激光器还包括一隔离器，所述隔离器位于所述外部谐振腔的输出光路上；

所述外部谐振腔的输出腔面设于所述隔离器靠近所述外部谐振腔的平面上；所述隔离器设于所述致动器上。

7.根据权利要求3-6任一项所述的外腔激光器，其特征在于：所述致动器包括压电元件、MEMS或线性电机中的一种。

8.根据权利要求2所述的外腔激光器，其特征在于：

所述外腔激光器还包括一腔长调节元件，所述腔长调节元件设于所述外部谐振腔内；

所述腔长控制信号通过控制所述腔长调节元件来改变所述外部谐振腔的光学腔长。

9.根据权利要求8所述的外腔激光器，其特征在于：所述腔长调节元件包括热光元件、声光元件、磁光元件、电光元件或液晶组件中的一种。

10.根据权利要求8所述的外腔激光器，其特征在于：所述腔长调节元件设于所述波长选择元件与所述外部谐振腔的腔面之间；

所述腔长调节元件包括相对的两个平面，所述外部谐振腔的腔面设于所述腔长调节元件远离所述波长选择元件的平面上。

11.根据权利要求1所述的外腔激光器，其特征在于：所述密封壳体的体积小于或等于0.3立方厘米。

12.一种光模块，其特征在于：包括如权利要求1-11任一项所述的外腔激光器。