[发明专利]一种MEMS振镜及光学系统在审
| 申请号： | 201910713721.X | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN112305750A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 王锦;沈文江;冯奇;沙华露;余晖俊;宁文果;王帅;周鹏;李智星;高咏 | 申请（专利权）人： | 上海汽车集团股份有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京信远达知识产权代理有限公司 11304 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 光学系统 | ||
1.一种MEMS振镜，其特征在于，包括：边缘结构、转轴和微镜；其中，
所述转轴连接所述边缘结构与所述微镜；
所述边缘结构上设置有信号输入端、信号输出端以及连接所述信号输入端和信号输出端的激励线圈；所述信号输入端，用于接收激励信号；所述激励信号通过所述激励线圈向所述信号输出端传输，所述激励线圈用于根据所述激励信号驱动所述微镜转动。
2.根据权利要求1所述的MEMS振镜，其特征在于，所述边缘结构包括：微镜边框和不动衬底；
所述转轴连接所述不动衬底和所述微镜；
所述微镜边框设置于所述转轴上，位于所述微镜与所述不动衬底之间；
所述激励线圈设置于所述边框表面。
3.根据权利要求2所述的MEMS振镜，其特征在于，所述激励信号用于在通过所述激励线圈时产生激励磁场；
所述激励线圈根据所述激励信号驱动所述微镜转动具体用于，所述激励磁场在工作磁场的控制下，控制所述微镜边框转动，以使所述微镜边框驱动所述转轴转动。
4.根据权利要求2所述的MEMS振镜，其特征在于，所述微镜的直径的取值范围为1000±100μm；
所述转轴的宽度的取值范围为100±20μm；
所述激励线圈包括多匝单匝线圈，多匝单匝线圈的总宽度的取值范围为400±100μm。
5.根据权利要求1所述的MEMS振镜，其特征在于，所述边缘结构包括：微镜边框和不动衬底；
所述转轴连接所述不动衬底和所述微镜；
所述微镜边框设置于所述转轴上，位于所述微镜与所述不动衬底之间；
所述激励线圈设置于所述不动衬底表面。
6.根据权利要求5所述的MEMS振镜，其特征在于，还包括：
设置于所述微镜表面的感应线圈；
所述激励信号为变化的电流信号；
所述激励线圈根据所述激励信号驱动所述微镜转动具体用于，所述感应线圈在所述激励磁场的激励下产生感应电流，具有感应电流的感应线圈在工作磁场的控制下，产生驱动力以驱动所述微镜转动。
7.根据权利要求1所述的MEMS振镜，其特征在于，所述信号输入端和信号输出端均为焊盘结构。
8.一种光学系统，其特征在于，包括：如权利要求1-7任一项所述的MEMS振镜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汽车集团股份有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经上海汽车集团股份有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910713721.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：发动机台架的GPF再生装置
- 下一篇：店铺串联消费系统
