[发明专利]励磁线温度监控系统及监控方法、自动物流传送系统

说明书

本发明实施例涉及一种励磁线温度监控系统及监控方法、自动物料传送系统，励磁线温度监控系统包括：温度采集模块，温度采集模块设置在运输设备上，用于运输设备在轨道上移动时采集励磁线的温度信息。本发明能够对工作轨道上励磁线的温度信息进行自动监测，降低人力成本。

技术领域

本发明涉及自动搬运技术领域，特别涉及一种励磁线温度监控系统及监控方法、自动物料传送系统。

背景技术

自动物流传送系统(AMHS，Automated Material Handling System)是半导体制程中的重要系统之一。自动物料传送系统一般包括有多个运输设备(OHT，Overhead HoistTransport)，该运输设备用于抓取晶圆(wafer)或者晶圆载具(wafer carrier)并沿轨道移动。轨道内铺设有用于为运输设备供电的励磁线，励磁线温度超出临界值时会引起电源过热保护，电源自动关闭，从而导致一定范围内的运输设备断电，进而造成轨道堵车。

目前，为了监测励磁线温度，通常采用手持式感热仪对励磁线的部分区域定期定点检测，该检测方法检测时间长且耗费人力成本。

发明内容

本发明实施例提供一种励磁线温度监控系统及监控方法、自动物料传送系统，通过对轨道上励磁线的温度信息进行自动监测，降低人力成本。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种励磁线温度监控系统，用于监控沿轨道设置的励磁线的温度，励磁线用于对沿轨道移动的运输设备供电，包括：温度采集模块，温度采集模块设置在运输设备上，用于运输设备在轨道上移动时采集励磁线的温度信息。

另外，温度信息包括温度值和与温度值对应的励磁线的位置信息，温度采集模块包括：温度采集单元，用于采集励磁线的温度值；位置检测单元，用于检测温度采集单元采集的每一温度值对应的励磁线的位置信息。

另外，温度采集单元包括温度传感器。

另外，该励磁线温度监控系统还包括警示模块，当温度值大于或等于预设阈值时，发出警示信息。

另外，警示模块包括：判断单元，用于判断温度值是否大于或等于预设阈值；报警单元，当判断温度值大于或等于预设阈值时，发出警示信息。

另外，预设阈值包括第一预设阈值和第二预设阈值，第二预设阈值大于第一预设阈值；发出警示信息包括：当温度值大于或等于第一预设阈值且小于第二预设阈值时，报警单元发出预警提示信息；当温度值大于或等于第二预设阈值时，报警单元发出强制中止运行提示信息。

另外，该励磁线温度监控系统还包括存储模块，用于存储温度信息或警示信息中的一种或两种。

另外，该励磁线温度监控系统还包括移动终端，用于接收温度信息或警示信息中的一种或两种。

另外，温度信息还包括与温度值对应的采集时间点；温度采集模块还包括时钟单元，用于记录与每一温度值对应的采集时间点。

另外，该励磁线温度监控系统还包括显示模块，用于显示温度值、位置信息以及采集时间点；显示模块显示励磁线不同位置的温度值，同一位置显示最后一次被采集的温度值。

另外，该励磁线温度监控系统还包括采集控制模块，用于控制温度采集模块采集励磁线的温度信息的频率。

另外，温度采集模块设置于运输设备的走行衬板上，走行衬板平行于励磁线。

本发明实施例还提供一种自动物料传送系统，包括：运输设备、轨道、励磁线以及本发明实施例中任一项的励磁线温度监控系统。

本发明实施例还提供一种励磁线温度监控方法，用于监控沿轨道设置的励磁线的温度，励磁线用于对沿轨道移动的运输设备供电，包括：在运输设备上设置温度采集模块，运输设备在轨道上移动时采集励磁线的温度信息。