[发明专利]一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置

说明书

本发明公开了一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构，所述输送机构的上端固定连接有支撑板，所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构，所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构，所述下料机构与上料机构之间安装有烘干机构，所述输送机构的右端安装有导料机构，所述导料机构的下端固定连接有支撑柱与振动电机，所述振动电机位于支撑柱之间，所述导料机构的左端安装有定量机构，所述导料机构的右端固定连接有接料机构，所述接料机构的下端放置有净水机构。该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，不仅实现了生产过程中的连续上下料，还能连续生产，既降低了劳动强度，也提高了生产效率。

技术领域

本发明涉及硅片加工设备设备技术领域，具体为一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置。

背景技术

硅片，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在很多领域中都有涉及。硅片的生产需要经过切割、磨边、热处理、清洗、干燥、检测等工艺，干燥过程中，需要干燥设备进行配合使用。

然而，现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，以解决上述背景技术中提出现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构，所述输送机构的上端固定连接有支撑板，所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构，所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构，所述下料机构与上料机构之间安装有烘干机构，所述输送机构的右端安装有导料机构，所述导料机构的下端固定连接有支撑柱与振动电机，所述振动电机位于支撑柱之间，所述导料机构的左端安装有定量机构，所述导料机构的右端固定连接有接料机构，所述接料机构的下端放置有净水机构。

优选的，所述输送机构包括机架，所述机架的左上端转动连接有主动轴，所述机架的右上端转动连接有从动轴，所述主动轴与从动轴通过输送带传动连接，且输送带采用网状结构设计，所述输送带的外侧等间距固定连接有六个防护条，所述机架的左下端固定连接有驱动电机，所述驱动电机与主动轴的一端通过皮带传动连接。

优选的，所述支撑板关于输送机构的竖直中心线对称设置有两个，且支撑板采用倒立的半包围结构设计。

优选的，所述下料机构包括下料电机，所述下料电机的上端传动连接有左连接杆的一端，所述左连接杆的另一端固定连接有左安装板，所述左安装板的上端固定连接有下料气缸，所述下料气缸的活动端穿过左安装板固定连接有左分流管，所述左分流管的下端等间距固定连接有五个下料吸盘，所述左分流管的右端固定连接有下料管的一端，所述下料管的另一端与下料风机相互接通。

优选的，所述上料机构包括上料电机，所述上料电机的上端传动连接有右连接杆的一端，所述右连接杆的另一端固定连接有右安装板，所述右安装板的上端固定连接有上料气缸，所述上料气缸的活动端穿过右安装板固定连接有右分流管，所述右分流管的下端等间距固定连接有五个上料吸盘，所述右分流管的右端固定连接有上料管的一端，所述上料管的另一端与上料风机相互接通。

优选的，所述烘干机构包括烘干箱，所述烘干箱的边侧对称固定连接有两个烘干风机，所述烘干风机的风口固定连接有上连接管的一端，所述上连接管的另一端固定连接有下连接管，所述下连接管之间固定连接有干燥管，且干燥管采用“O”型结构设计，所述干燥管的内侧对称固定连接有两组干燥风嘴，且干燥风嘴位于烘干箱的内部，所述输送带的上端穿过干燥管的内部。