[发明专利]载物台水冷装置及其故障检测方法

说明书

本申请涉及一种载物台水冷装置及其故障检测方法，载物台水冷装置包括：水箱、第一管道和第二管道，水箱具有抽水口和回流口，第一管道包括与抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与水箱的回流口连接的回流管道，第二管道连接于抽取管道和回流管道之间且靠近抽水口和回流口，第一管道与水箱形成制冷循环回路，第二管道与水箱形成测试循环回路；故障检测方法包括：开通制冷循环回路、关闭测试循环回路，获取抽水口处的第一流量值和回流管道的第二流量值；关闭制冷循环回路、开通测试循环回路，获取抽水口处的第三流量值；根据第一流量值、第二流量值、第三流量值和目标流量值判断故障类型。

技术领域

本发明涉及载物台的半导体设备领域，尤其涉及一种载物台水冷装置和载物台水冷装置故障检测方法。

背景技术

在半导体器件制备工艺中，通常需要将被加工的基片置于专用的载物台上进行操作，而由于在加工过程中通常会产生热量，热量过高将会影响产品良率，因此，一般会配置一套载物台水冷装置来控制载物台的温度。载物台水冷装置是通过管道向载物台循环输送制冷液，通过制冷液带走载物台部分热量，从而使载物台温度稳定。在载物台水冷装置工作过程中，正常情况下，其管道内的制冷液按照设定的目标流量值循环流动。然而，载物台水冷装置在长期使用后会产生一些故障，比如，安装于管道内的流量计检测到的制冷液的实际流量值会偏离目标流量值，出现流量异常。但是，目前的载物台水冷装置只能检测到流量异常，但是不能识别导致流量异常的具体原因，无法快速排查异常。

发明内容

基于此，本申请针对目前的载物台水冷装置在检测出制冷液流量异常时无法识别导致流量异常的具体原因的技术问题，提出一种新的载物台水冷装置和载物台水冷装置故障检测方法。

一种载物台水冷装置故障检测方法，

所述载物台水冷装置包括：

水箱、第一管道和第二管道，所述水箱具有抽水口和回流口，所述第一管道包括与所述抽水口连接的抽取管道、位于载物台内部的冷却管道以及与所述水箱的回流口连接的回流管道，所述第二管道连接于所述抽取管道和所述回流管道之间且靠近所述抽水口和所述回流口，所述第一管道与所述水箱形成制冷循环回路，所述第二管道与所述水箱形成测试循环回路；

所述故障检测方法包括：

开通所述制冷循环回路、关闭所述测试循环回路，获取所述抽水口处的第一流量值和所述回流管道的第二流量值；

关闭所述制冷循环回路、开通所述测试循环回路，获取所述抽水口处的第三流量值；

比较所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目标流量值，判定所述载物台水冷装置故障类型。

上述载物台水冷装置故障检测方法，在水冷装置中设有两条管道，其中，第一管道与水箱构成制冷循环回路，为载物台散热，第二管道与水箱则构成测试循环回路。在载物台水冷装置正常工作过程中，仅开通制冷循环回路，测试循环回路为关闭状态，制冷液按照预设的目标流量值在第一管道内循环流动，控制载物台的温度。一旦该载物台水冷装置流量出现异常，制冷循环回路中的制冷液流量偏小，便可通过开通制冷循环回路并关闭测试循环回路获取此期间抽水口处的制冷液的第一流量值以及回路管道内的制冷液的第二流量值，通过关闭制冷循环回路并开通测试循环回路获取此期间抽水口处的制冷液的第三流量值。由于导致流量异常的原因包括水泵动力不足、管道堵塞和管道破裂等，在不同的条件下，上述流量值之间的关系不一样，通过比较上述第一流量值、第二流量值、第三流量值和目标流量值，便可分析出导致流量异常的原因。

在其中一个实施例中，所述比较所述第一流量值、所述第二流量值、所述第三流量值和目标流量值，判定所述载物台水冷装置故障类型，包括：

当第二流量值＜第一流量值＜第三流量值时，则判定所述载物台水冷装置故障为管道堵塞；