[发明专利]一种维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头

说明书

本发明涉及精密微纳测量技术领域，具体涉及一种维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头，包括安装座，安装座的一侧竖直侧壁上通过连接机构连接有剖面为“十”字型的安装座，支撑架远离安装座的侧壁上固定连接有安装座，连接机构包括四个连接槽，四个连接槽呈矩阵分布均匀等距的开设在安装座靠近支撑架的竖直侧壁上，四个连接槽远离安装座轴线的槽壁上均开设有第一滑槽，第一滑槽的槽底上对称开设有卡孔，第一滑槽内滑动连接有第一滑块，第一滑块远离第一滑槽槽底的一端穿过第一滑槽的槽口并向外延伸，且固定连接有连接杆。该维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头，便于维护的同时还可以对微纳测头进行调节。

技术领域

本发明涉及精密微纳测量技术领域，具体为一种维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头。

背景技术

随着微电子机械器件制造的快速发展，器件的几何尺寸介于毫米到微米之间，为保证微电子机械器件的加工质量，对高精度微纳测量机要求越来越高，微纳测头应运而生，微纳测头是测量机的重要组件，其性能直接影响着测量机的测量精度和稳定性。接触式以其精度高、可靠性好、易于校正等优点相对于非接触式近年来得到广泛的应用。

微纳测头安装在安装座上，安装座内安装有与微纳测头连接的多种电子零部件，同时安装座安装在测量机上，微纳测头由于其功能的特殊性，以及其对精度要求高，进而使用一定时间后就需要进行维护，但现有测头与安装座安装的较为紧密，留有较少的空间，不便于测头的维护；同时使用的时候，根据被测量物体的不同，需要调节微纳测头与被测物体之间的距离，但现有的微纳测头不便于调节(这里只涉及微纳测头的维护以及调节方向的改进，故对于微纳测头与安装座的电性连接关系以及安装座内部电子器件均没有提及，而且这些技术均为现有技术，也没有提及的必要)。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头，具备便于维护的同时便于对测头进行调节等优点，解决了现有的微纳测头不便于维护和不便于调节的问题。

(二)技术方案

为实现上述便于维护的同时便于对测头进行调节的目的，本发明提供如下技术方案：一种维护简便的刚度可调型十字梁微纳测头，包括安装座，所述安装座的一侧竖直侧壁上通过连接机构连接有剖面为“十”字型的安装座，所述支撑架远离安装座的侧壁上固定连接有安装座，所述连接机构包括四个连接槽，四个所述连接槽呈矩阵分布均匀等距的开设在安装座靠近支撑架的竖直侧壁上，四个所述连接槽远离安装座轴线的槽壁上均开设有第一滑槽，所述第一滑槽的槽底上对称开设有卡孔，所述第一滑槽内滑动连接有第一滑块，所述第一滑块远离第一滑槽槽底的一端穿过第一滑槽的槽口并向外延伸，且固定连接有连接杆，所述连接杆远离连接槽槽底的一端穿过连接槽的槽口并向外延伸，且与支撑架固定连接，所述第一滑槽靠近连接槽槽底的槽壁上固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧靠近第一滑块的一端与第一滑块固定连接，所述第一滑块靠近第一滑槽槽底的一端开设有卡槽，所述卡槽的槽底上固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离卡槽槽底的一端固定连接有卡块，所述卡块远离第二弹簧的一端穿过卡槽的槽口并向对应的卡孔内延伸，且所述卡块远离第二弹簧的一端插设在对应的卡孔内，所述支撑座中部共同开设有螺纹孔，所述螺纹孔靠近支撑架的一端贯穿支撑架设置，所述安装座上开设有与螺纹孔相对应的安装孔，所述螺纹孔内螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近支撑座的一端安装有测头主体。

优选的，所述螺纹杆远离测头主体的一端向安装孔内延伸，且所述螺纹杆远离测头主体的一端开设有剖面为矩形的收纳槽，所述收纳槽的槽底固定连接有拉簧，所述拉簧远离收纳槽槽底的一端固定连接有剖面为矩形的拉杆，所述拉杆远离拉簧的一端依次穿过收纳槽的槽口和安装孔并向外延伸，且固定连接有剖面为圆形的限位盘，所述限位盘靠近拉杆的侧壁与安装座相抵。

优选的，所述卡槽的相对槽壁上对称开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有第二滑块，两块所述第二滑块相向的一端均穿过对应第二滑槽的槽口并向外延伸，且均与卡块固定连接。