[发明专利]一种高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置和方法

权利要求书

1.一种高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述装置包括反应腔室，所述反应腔室内设有沉积台平板、驱动系统和溅射靶，所述溅射靶吊设在所述反应腔室的顶部；

所述沉积台平板上设有若干旋转沉积微区单元，所述旋转沉积微区单元底部穿过所述沉积台平板，且与所述沉积台平板间可旋转的连接；

所述旋转沉积微区单元与所述驱动系统连接，在所述驱动系统的动力驱动下实现同步旋转；

使用所述装置制备薄膜材料的方法的步骤包括：

S1、将所需材料成分的靶材安置于溅射靶，并调节溅射靶的角度和高度；

S2：将基体放置并固定在各个旋转沉积微区单元的样品台上；

S3：打开驱动电机，使各个旋转沉积微区单元同步旋转；

S4：打开溅射开关，开始溅射镀膜；

S5：镀膜完成后关闭设备，取出样品，得到多个具有不同材料成分的均匀薄膜样品。

2.根据权利要求1所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，每一个所述旋转沉积微区单元的底端均固定套设有第一传动齿轮，相邻的两个第一传动齿轮之间相互啮合；其中一个所述旋转沉积微区单元的底端还设有延长轴，所述延长轴上固定套设有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮与所述驱动系统连接。

3.根据权利要求1所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述旋转沉积微区单元包括样品台、粗转轴和细转轴；所述样品台水平设置，所述样品台的下表面与所述粗转轴的顶端固定连接，所述粗转轴的底端与所述细转轴的顶端固定连接；所述细转轴穿过所述沉积台平板，且与所述沉积台平板可旋转的连接。

4.根据权利要求3所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述可旋转的连接为轴承连接，具体为：在所述沉积台平板内设置若干与所述细转轴对应的轴承，所述细转轴从所述轴承的中间孔穿过实现轴承连接。

5.根据权利要求2所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述驱动系统包括驱动电机和驱动齿轮，所述驱动齿轮固定套设在所述驱动电机的电机轴上；所述驱动齿轮与所述第二传动齿轮啮合连接。

6.根据权利要求5所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述驱动电机与所述反应腔室的内壁间相互绝缘。

7.根据权利要求1所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述沉积台平板的下方设有若干用于支撑所述沉积台平板的支撑杆。

8.根据权利要求5所述的高通量制备多组分均匀薄膜材料的装置，其特征在于，所述第一传动齿轮、所述第二传动齿轮和所述驱动齿轮均带有向下的凸台，所述凸台中配备有固定顶丝。