[发明专利]灰阶光罩及显示基板的制作方法

权利要求书

1.一种灰阶光罩，其特征在于，包括透光区(31)及包围所述透光区(31)的遮光区(32)，所述透光区(31)包括依次排列的用于形成第一薄膜衬垫(41)的第一透光区(311)与用于形成第二薄膜衬垫(42)的第二透光区(312)，所述第一透光区(311)完全透光，所述第二透光区(312)部分透光；

所述第一薄膜衬垫(41)的厚度大于所述第二薄膜衬垫(42)，且所述第二透光区(312)经过防剥离处理，能够使得通过该第二透光区(312)形成的第二薄膜衬垫(42)的四角的厚度至少为其中心的厚度的60％；

所述第二透光区(312)包括依次平行排列的多个透光狭缝(51a)，相邻的两个透光狭缝(51a)之间具有遮光条(52a)；

所述防剥离处理为：设置位于首尾两端的两个透光狭缝(51a)的宽度为第一宽度，除首尾两端的两个透光狭缝(51a)以外的其他透光狭缝(51a)的宽度为第二宽度，所述第一宽度大于第二宽度，所有遮光条(52a)的宽度均相等。

2.一种灰阶光罩，其特征在于，包括透光区(31)及包围所述透光区(31)的遮光区(32)，所述透光区(31)包括依次排列的用于形成第一薄膜衬垫(41)的第一透光区(311)与用于形成第二薄膜衬垫(42)的第二透光区(312)，所述第一透光区(311)完全透光，所述第二透光区(312)部分透光；

所述第一薄膜衬垫(41)的厚度大于所述第二薄膜衬垫(42)，且所述第二透光区(312)经过防剥离处理，能够使得通过该第二透光区(312)形成的第二薄膜衬垫(42)的四角的厚度至少为其中心的厚度的60％；

所述第二透光区(312)包括依次平行排列的多个透光狭缝(51b)，相邻的两个透光狭缝(51b)之间具有遮光条(52b)；

所述防剥离处理为：设置位于首尾两端的两个遮光条(52b)的宽度为第三宽度，除首尾两端的两个遮光条(52b)以外的其他遮光条(52b)的宽度为第四宽度，所述第三宽度小于第四宽度，所有透光狭缝(51b)的宽度均相等。

3.一种灰阶光罩，其特征在于，包括透光区(31)及包围所述透光区(31)的遮光区(32)，所述透光区(31)包括依次排列的用于形成第一薄膜衬垫(41)的第一透光区(311)与用于形成第二薄膜衬垫(42)的第二透光区(312)，所述第一透光区(311)完全透光，所述第二透光区(312)部分透光；

所述第一薄膜衬垫(41)的厚度大于所述第二薄膜衬垫(42)，且所述第二透光区(312)经过防剥离处理，能够使得通过该第二透光区(312)形成的第二薄膜衬垫(42)的四角的厚度至少为其中心的厚度的60％；

所述第二透光区(312)包括依次平行排列的多个透光狭缝(51c)，相邻的两个透光狭缝(51c)之间具有遮光条(52c)；

所述防剥离处理为：在所述第二透光区(312)相对的两侧分别设置两辅助透光狭缝(53c)，所述辅助透光狭缝(53c)与所述透光狭缝(51c)垂直间隔，且所述辅助透光狭缝(53c)的一端与位于首端的透光狭缝(51c)的外侧边平齐或辅助透光狭缝(53c)的一端超出位于首端的透光狭缝(51c)的外侧边，辅助透光狭缝(53c)的另一端与位于尾端的透光狭缝(51c)的外侧边平齐或辅助透光狭缝(53c)的另一端超出位于尾端的透光狭缝(51c)的外侧边。