[发明专利]一种光罩传送装置

权利要求书

1.一种光罩传送装置，其特征在于，包括：

承载部，用于承载光罩；

吹扫部，设置于所述承载部的上方，用于向位于所述承载部上的所述光罩进行气体吹扫，以去除所述光罩表面的颗粒物。

2.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：

第一转轴，连接所述吹扫部；

第一驱动器，连接所述第一转轴，用于驱动所述第一转轴在第一预设角度范围内自转，以调整所述吹扫部与所述承载部之间的相对位置。

3.根据权利要求2所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：

第二转轴，连接所述承载部；

第二驱动器，连接所述第二转轴，用于驱动所述第二转轴在第二预设角度范围内自转，以传输所述光罩。

4.根据权利要求3所述的光罩传送装置，其特征在于，所述第一转轴连接所述吹扫部的端部，所述第二转轴连接所述承载部的端部，且所述第二转轴嵌套于所述第一转轴内部。

5.根据权利要求2所述的光罩传送装置，其特征在于，还包括：

传感器，连接所述第一驱动器，用于检测所述第一驱动器的驱动参数，以获取所述吹扫部的转动角度。

6.根据权利要求3所述的光罩传送装置，其特征在于，所述吹扫部包括管道和过滤器；

所述管道的一端连接气源、另一端连接所述过滤器，用于向所述过滤器传输气体；

所述过滤器用于除去所述气体中的污染物，并将过滤后的所述气体传输至所述光罩。

7.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于，所述吹扫部还包括风刀；所述风刀的进风侧与所述过滤器连通；

所述风刀的出风侧包括第一区域，在所述吹扫部对所述光罩进行吹扫时，所述第一区域在竖直方向上的投影至少覆盖所述光罩；

所述第一区域具有多个相对于所述承载部倾斜一预设角度的第一导流板，用于对所述光罩进行倾斜吹扫。

8.根据权利要求7所述的光罩传送装置，其特征在于，所述出风侧还包括第二区域，在所述吹扫部对所述光罩进行吹扫时，所述第二区域在竖直方向上的投影自所述光罩远离所述第二转轴的端部延伸出所述光罩；

所述第二区域具有多个沿竖直方向延伸的第二导流板，用于竖直向下吹扫气体。

9.根据权利要求7所述的光罩传送装置，其特征在于，所述预设角度为45°或者135°。

10.根据权利要求1所述的光罩传送装置，其特征在于，在沿竖直方向上，所述吹扫部与所述承载部承载的所述光罩之间的距离为20mm～40mm。