[发明专利]正型感光性树脂组合物、绝缘膜以及图像显示装置有效
申请号: | 201910727537.0 | 申请日: | 2019-08-07 |
公开(公告)号: | CN110850682B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 郑盛旭;任玟柱;赵庸桓 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/004 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;许京文 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 绝缘 以及 图像 显示装置 | ||
本发明提供正型感光性树脂组合物、绝缘膜以及图像显示装置。上述正型感光性树脂组合物包含粘合剂树脂、抗氧化剂、光产酸剂和溶剂,上述粘合剂树脂包含含有下述化学式1所表示的结构单元的第一树脂,化学式1中,Rsubgt;1/subgt;、Rsubgt;2/subgt;和Rsubgt;3/subgt;为氢或甲基,Rsubgt;4/subgt;为碳原子数1~5的亚烷基,R各自独立地为碳原子数1~4的烷基,a为20~40摩尔%,b为30~60摩尔%,c为5~40摩尔%。通过粘合剂树脂与抗氧化剂的相互作用,能够形成密合性和显影性提高了的绝缘膜。化学式1
技术领域
本发明涉及正型感光性树脂组合物以及由其制造的绝缘膜。更详细而言,涉及包含感光性树脂和光产酸剂的正型感光性树脂组合物以及由其制造的绝缘膜。
背景技术
例如,为了形成显示设备的光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑矩阵、柱状间隔物等多种多样的光固化绝缘图案,会使用感光性树脂组合物。例如,硅氧化物或硅氮化物之类的无机绝缘膜的介电常数高,因而对于低介电有机绝缘膜的需求增加,为了形成上述有机绝缘膜,可以使用上述感光性树脂组合物。
上述有机绝缘膜可以通过涂布上述感光性树脂组合物后,通过预热处理而进行固化,然后通过曝光及显影工序而形成为预定的图案。
上述感光性树脂组合物根据通过显影工序而被去除的部分分类为正型和负型。对于正型组合物而言,曝光的部分被显影液溶解,对于负型组合物而言,未曝光的部分发生溶解而可以形成图案。由此,要求优异的显影性。
此外,在上述有机绝缘膜的情况下,有必要以具有优异的绝缘性的同时具有密合性等机械特性的方式形成,并且有必要以具有对于上述曝光工序的优异的灵敏度的方式制造上述感光性树脂组合物。
例如,韩国公开专利第2013-0021324号中公开了一种正型抗蚀剂组合物,但未能提供用于提高上述机械特性和显影性的方案。
现有技术文献
专利文献
韩国公开专利第10-2013-0021324号
发明内容
所要解决的课题
本发明的一个课题在于,提供具有优异的化学、机械特性的感光性树脂组合物。
本发明的一个课题在于,提供由上述感光性树脂组合物形成而具有优异的可靠性的绝缘膜。
本发明的一个课题在于,提供包含由上述感光性树脂组合物形成的绝缘膜的图像显示装置。
解决课题的方法
1.一种正型感光性树脂组合物,其包含粘合剂树脂、抗氧化剂、光产酸剂和溶剂,上述粘合剂树脂包含含有下述化学式1所表示的结构单元的第一树脂,
[化学式1]
(化学式1中,R1、R2和R3为氢或甲基,R4为碳原子数1~5的亚烷基,R彼此独立地为碳原子数1~4的烷基,a为20~40摩尔%,b为30~60摩尔%,c为5~40摩尔%)。
2.如1所述的正型感光性树脂组合物,上述第一树脂进一步包含含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系结构单元。
3.如2所述的正型感光性树脂组合物,上述含有氧杂环丁烷基的丙烯酸系结构单元来源于下述化学式2所表示的单体,
[化学式2]
(化学式2中,Ra为氢或甲基,Rb为直接结合或碳原子数1~6的亚烷基,Rc为碳原子数1~6的烷基)。
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