[发明专利]检测透射式光学系统任意波长焦距的方法有效
申请号: | 201910728724.0 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110307963B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 韩森;张齐元;庄锦程;王全召;李雪园 | 申请(专利权)人: | 苏州维纳仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 透射 光学系统 任意 波长 焦距 方法 | ||
1.一种检测透射式光学系统任意波长焦距的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一,使用测量焦距的仪器对光学系统的焦距进行测量,得到光学系统λ0的焦距f(λ0);
步骤二,使用测量后截距的装置对光学系统的后截距进行测量,得到光学系统λ1~λm的后截距l(λ1)、l(λ2)……l(λm);
步骤三,将步骤二得到m种波长的后截距l(λ1)、l(λ2)……l(λm)代入后截距与波长的方程,
m=1,2,3,4,
计算Al、Bl、Cl和Dl的值;
步骤四,将计算得到的Al、Bl、Cl和Dl的值代入公式(1)中,分别计算波长为λ0和λn的光学系统后截距l(λ0)和l(λn);
步骤五,将计算得到的l(λ0)和l(λn)代入公式(2)中,
计算λ0和λn的光学系统后截距的间隔
步骤六,将测量得到的f(λ0)和计算得到的代入公式(3)中,
计算波长为λn的光学系统焦距f(λn),
其中,所述光学系统为单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中的任意一种。
2.根据权利要求1所述的检测透射式光学系统任意波长焦距的方法,其特征在于:
其中,400nm≤λ0≠λ1≠…≠λm≠λn≤1000nm,或400nm≤λ0=λ1≠…≠λm=λn≤1000nm,或400nm≤λ0=λ1=λn≠…≠λm≤1000nm,所述光学系统为消色差系统或复消色差系统,
当所述光学系统为消色差系统时,步骤三中,1.1≤X1≤4.9,5≤X2≤6.2,1.8≤X3≤2.3,
当所述光学系统为复消色差系统时,步骤三中,0.1≤X1≤3.1,3.9≤X2≤6.9,1.8≤X3≤2.4,6.5≤X1+X2≤7.2。
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