[发明专利]一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料及其制备方法

权利要求书

1.一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述聚氨酯材料由无纺布、多官能异氰酸酯、预聚物多元醇以及耐磨无机材料作为原材料成分制成；其中多官能异氰酸酯与预聚物多元醇反应制备，由异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物，其中所述异氰酸酯封端的聚氨酯预聚物含有重量2-10%的未反应异氰酸酯基团；所述聚氨酯材料的制备方法包括以下步骤：以无纺布为基底材料，通过湿法六辊强制挤压含浸聚氨酯浆料，有效增加基底材料的聚氨酯含浸量，经过凝聚、水洗、烘干得到化学 机械抛光聚氨酯材料坯革；然后经过正反两面打磨，表面平整，得到一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料。

2.根据权利要求1所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述无纺布选自锦纶、涤纶以及腈纶材料中的任意一种或几种的组合，其厚度为 1.5-4.0mm。

3.根据权利要求1所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述湿法六辊强制挤压含浸为六对对辊含浸，间隙选自0.1-0.5mm之间的任意一种 或者几种组合。

4.根据权利要求1所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述聚氨酯浆料原料组分及各原料组分的重量份如下：二甲基甲酰胺DMF 50-150份，渗透剂BYK-6798 0-3份，无机耐磨材料 0-20份，聚氨酯树脂SW-4550 100-200份，所述聚氨酯浆料粘度为100-1500 mPa·s/20-30℃。

5.根据权利要求4所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述无机耐磨材料选自氧化铝、二氧化硅、氧化铈中的任意一种或几种任意比例的 组合。

6.根据权利要求1所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述聚氨酯材料可以裁剪成“条状”结构，加工成毛刷式化学机械抛光材料，进行切 口或者圆弧状断面进行化学机械抛光。

7.根据权利要求6所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料，其特征在于，所述“条状”结构为长度2-20cm，切口为正方形的结构形状。

8.一种如权利要求1-7任一项所述的毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料的应用，其特征在于，可用于半导体材料、光学器件、电子显示器件以及贵重金属材料中的切口或者圆弧状断面进行化学机械抛光。