[发明专利]一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法

权利要求书

1.一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；

所述主管的一端连通至调压瓶，所述主管的另一端连通至含氟瓶；

所述钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，所述钢瓶组管连通至主管；

所述气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；

所述抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置；

所述排空管的一端连通至吸附器的输入端，吸附器的输出端连通至尾气处理装置，所述排空管的另一端连通至第二分管的一端，所述第二分管的另一端连通至抽空管；

所述第一分管的一端连通至主管，所述第一分管的另一端连通至排空管；

还包括第三分管，其一端连通至主管，其另一端通过安全阀连通至第一分管，所述第三分管设有第十九阀门；

在所述主管上，从左至右依次设置有第十三阀门、第十二阀门、第十一阀门、第十阀门、第九阀门和第一阀门；

还包括第八阀门，第八阀门的一端连通至主管，该端的连通处位于第十阀门和第九阀门之间；第八阀门的另一端连通至主管，该端的连通处位于第九阀门与第一阀门之间；

所述钢瓶组中的钢瓶的数量为六，分别为目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶；

所述目标钢瓶、第一原料瓶、第二原料瓶、第三原料瓶、第四原料瓶和第五原料瓶分别通过钢瓶组分管连通至钢瓶组管，从左至右的钢瓶组分管依次设有第七阀门、第六阀门、第五阀门、第四阀门、第三阀门和第二阀门；

从所述抽空管上的一端至其另一端依次设有第十四阀门、第十五阀门和第二十四阀门；

所述第二分管设有第十六阀门，所述第二分管的一端与抽空管相连通，该连通处位于第十四阀门和第十五阀门之间；所述第二分管的另一端通过安全阀与排空管的另一端相连通；

所述第一分管设有第十七阀门，所述第一分管连通至主管的连通处位于第十一阀门和第十阀门之间；

所述气体浓度稀释管上依次设有第二十阀门、流量计和第二十一阀门；

吸附器的输入端设有第二十二阀门，吸附器的输出端设有第二十三阀门，真空泵的输入端设有第二十四阀门；

抽空管设有电阻真空计。

2.根据权利要求1所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：还包括限流管，其两端分别连通至第一分管，限流管的两端分别位于第十七阀门的前端和后端，所述限流管设有第十八阀门和限流阀，限流阀位于第十八阀门的后端。

3.根据权利要求2所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：还包括第一压力表、第二压力表、第三压力表、第四压力表、第五压力表和第六压力表；

所述第一压力表设于钢瓶组管；

所述第二压力表设于主管，第二压力表位于第十二阀门与第十一阀门之间；

所述第三压力表设于抽空管，第三压力表位于第十四阀门与第十五阀门之间；

所述第四压力表设于第二分管；

所述第五压力表设于所述第三分管；

所述第六压力表设于所述排空管。

4.根据权利要求3所述的一种含氟混合气的配气系统，其特征在于：所述尾气处理装置包括储液池、第一喷淋塔、第二喷淋塔和风机；

所述储液池的顶部为密封的，储液池的侧壁设有透风口，储液池内储存有碱性溶液；

吸附器的输出端是连通至尾气处理装置中的储液池内的碱性溶液；

所述真空泵的输出端连通至尾气处理装置的储液池内；

所述储液池的顶部通过第一风管连通至第一喷淋塔的输入端，所述第一喷淋塔的输出端通过第二风管连通至第二喷淋塔的输入端，所述第二喷淋塔的输出端通过第三风管连通至风机的输入端，所述风机的输出端设有第四风管。