[发明专利]一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法

说明书

一种超高纯气体吸附剂的活化系统，包括氦气源、纯化器、氮气源、加热器和吸附器；氦气源的输出端连通于纯化器的输入端；纯化器的输出端连通于加热器的输入端；氮气源的输出端连通于加热器的输入端；加热器的输出端连通于吸附器的输入端；吸附器的输出端设有排空端和在线分析端；吸附器内装载有待活化的吸附剂。本发明根据上述内容提出一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法，活化过程质量可控，能够在线分析杂质的含量，操作过程安全可靠，活化后的吸附剂纯度高。

技术领域

本发明涉及吸附剂活化技术领域，尤其涉及一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法。

背景技术

吸附剂用作吸附产品气体中的杂质，当吸附剂吸附杂质至饱和状态时，需要对吸附剂进行活化把其中的杂质释放，吸附剂才能再次使用；传统的活化方法是使用5N的气体对吸附剂进行加热处理，水的含量只能在1.1-2.5ppm之间，使用传统方法活化的分子筛对气体进行除杂的话很大程度限制了气体的纯度。

发明内容

本发明的目的在于提出一种超高纯气体吸附剂的活化系统及方法，活化过程质量可控，能够在线分析杂质的含量，操作过程安全可靠，活化后的吸附剂纯度高。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种超高纯气体吸附剂的活化系统，包括氦气源、纯化器、氮气源、加热器和吸附器；

所述氦气源的输出端连通于所述纯化器的输入端；

所述纯化器的输出端连通于所述加热器的输入端；

所述氮气源的输出端连通于所述加热器的输入端；

所述加热器的输出端连通于吸附器的输入端；

所述吸附器的输出端设有排空端和在线分析端；

所述吸附器内装载有待活化的吸附剂。

进一步，还包括第一温度探头和第二温度探头，所述第一温度探头设于所述吸附器的输入端，所述第二温度探头设于所述吸附器的输出端。

进一步，还包括减压器，所述减压器设置于所述纯化器的输出端与所述加热器的输入端之间；

所述纯化器的输出端连通至减压器的输入端；

所述氮气源的输出端连通至减压器的输入端。

进一步，还包括流量计，所述减压器的输出端连通至所述流量计的输入端，所述流量计的输出端连通至所述加热器的输入端。

进一步，所述加热器的输出端与吸附器的输入端之间的管路设有保温段管。

进一步，还包括真空泵，所述真空泵的输入端连通至所述吸附器的输入端，所述吸附器的输出端还设有高纯产品输入端。

进一步，所述氦气源的输出端设有第一阀门，所述纯化器的输出端设有第二阀门，所述氮气源的输出端设有第三阀门，所述流量计的输出端设有第四阀门，所述加热器的输出端设有第五阀门，所述真空泵的输入端设有第六阀门，所述吸附器的输出端设有第七阀门，所述高纯产品输入端设有第八阀门，所述在线分析端设有第九阀门，所述排空端设有第十阀门。

进一步，所述氦气源为氦气集装格，氮气源为氮气集装格。

使用所述的一种超高纯气体吸附剂的活化系统的方法，包括如下步骤：

步骤A：打开第三阀门，氮气源内的氮气依次通入至减压器和流量计,分别进行气体减压和气体流量控制处理；

步骤B：经步骤A处理后的氮气通入至加热器进行加热处理；

步骤C：经步骤B处理后的氮气通入至保温段管进行保温处理；