[发明专利]微流体通道内的SERS结构、微流体SERS检测方法

权利要求书

1.一种微流体通道内的SERS结构，其特征在于，按照以下方法制备得到：

I)以微通道作为基底，在所述基底上涂布光刻胶，形成光刻胶层；

II)对所述光刻胶层进行三维激光打印，然后在显影液中显影，之后进行超临界干燥，得到多个设置在基底上且彼此分离的聚合物微结构；

III)在所述聚合物微结构的表面设置SERS功能层；

IV)在步骤III)得到的材料上滴加可产生毛细力的液体，之后使所述液体蒸发，蒸发过程中彼此分离的聚合物微结构在毛细力诱导下组装成纳米间隙结构，得到微流体通道内的SERS结构。

2.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤I)中，所述光刻胶包括SZ2080光刻胶、NOA61光刻胶、SU8系列光刻胶或光敏性聚二甲基硅氧烷。

3.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤II)中，所述三维激光打印的方式为飞秒激光双光子三维打印。

4.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤II)中，所述显影液包括正丙醇、乙醇、丙酮和水中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤II)中，所述聚合物微结构为聚合物微柱；所述聚合物微柱的直径为500nm～1μm，高度为15～20μm。

6.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤III)中，所述SERS功能层的材料包括金、银、铂和石墨烯中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤III)中，所述SERS功能层的厚度为10～20nm。

8.根据权利要求1所述的SERS结构，其特征在于，步骤IV)中，所述液体包括水、乙醇、正丙醇和丙酮中的一种或多种。

9.一种微流体SERS检测方法，其特征在于，使用微流体通道对待测样品进行检测；

所述微流体通道内具有如权利要求1～8任一项所述的SERS结构。