[发明专利]电子射线显微分析仪、数据处理方法以及存储介质

权利要求书

1.一种电子射线显微分析仪，其特征在于，具备：

电子射线照射部，其向试样照射电子射线来使试样产生X射线；

波长色散型X射线分光器，其检测从试样产生的X射线并获取谱数据；

标准灵敏度曲线计算处理部，其计算表示所述波长色散型X射线分光器的标准灵敏度值与波长的关系的标准灵敏度曲线；

存储部，其按电子射线的每个加速电压存储由所述标准灵敏度曲线计算处理部计算出的标准灵敏度曲线的数据、在所述标准灵敏度曲线的计算中使用的在各个波长下的标准灵敏度值以及预先使用一个代表装置求出的标准灵敏度曲线的初始数据；以及

更新处理部，其基于一个加速电压下的标准灵敏度值的实测值来更新所述存储部中存储的标准灵敏度值，使用所述标准灵敏度曲线计算处理部来更新所述存储部中存储的标准灵敏度曲线的数据，并且根据所述存储部中存储的各标准灵敏度曲线的初始数据来求出在加速电压发生了变化时标准灵敏度值变化的比例，根据该比例和所述标准灵敏度值的实测值来计算其它加速电压下的标准灵敏度值，基于该标准灵敏度值来更新标准灵敏度曲线的数据并使更新后的标准灵敏度曲线的数据存储到所述存储部中。

2.根据权利要求1所述的电子射线显微分析仪，其特征在于，

还具备元素浓度计算处理部，该元素浓度计算处理部使用由所述更新处理部更新后的标准灵敏度曲线的数据来计算试样的元素浓度。

3.一种数据处理方法，在电子射线显微分析仪中使用，该电子射线显微分析仪具备：电子射线照射部，其向试样照射电子射线来使试样产生X射线；波长色散型X射线分光器，其检测从试样产生的X射线并获取谱数据；以及存储部，其按电子射线的每个加速电压存储表示所述波长色散型X射线分光器的标准灵敏度值与波长的关系的标准灵敏度曲线的数据、在所述标准灵敏度曲线的计算中使用的在各个波长下的标准灵敏度值以及预先使用一个代表装置求出的标准灵敏度曲线的初始数据，该数据处理方法的特征在于，包括以下步骤：

标准灵敏度曲线计算步骤，计算表示所述波长色散型X射线分光器的标准灵敏度值与波长的关系的标准灵敏度曲线；以及

更新步骤，基于一个加速电压下的标准灵敏度值的实测值来更新所述存储部中存储的标准灵敏度值，使用所述标准灵敏度曲线计算步骤来更新所述存储部中存储的标准灵敏度曲线的数据，并且根据所述存储部中存储的各标准灵敏度曲线的初始数据来求出在加速电压发生了变化时标准灵敏度值变化的比例，根据该比例和所述标准灵敏度值的实测值来计算其它加速电压下的标准灵敏度值，基于该标准灵敏度值来更新标准灵敏度曲线的数据并使更新后的标准灵敏度曲线的数据存储到所述存储部中。

4.一种存储介质，存储有在电子射线显微分析仪中使用的数据处理程序，该电子射线显微分析仪具备：电子射线照射部，其向试样照射电子射线来使试样产生X射线；波长色散型X射线分光器，其检测从试样产生的X射线并获取谱数据；以及存储部，其按电子射线的每个加速电压存储表示所述波长色散型X射线分光器的标准灵敏度值与波长的关系的标准灵敏度曲线的数据、在所述标准灵敏度曲线的计算中使用的在各个波长下的标准灵敏度值以及预先使用一个代表装置求出的标准灵敏度曲线的初始数据，

所述存储介质的特征在于，

所述数据处理程序用于使计算机执行以下步骤：

标准灵敏度曲线计算步骤，计算表示所述波长色散型X射线分光器的标准灵敏度值与波长的关系的标准灵敏度曲线；以及

更新步骤，基于一个加速电压下的标准灵敏度值的实测值来更新所述存储部中存储的标准灵敏度值，使用所述标准灵敏度曲线计算步骤来更新所述存储部中存储的标准灵敏度曲线的数据，并且根据所述存储部中存储的各标准灵敏度曲线的初始数据来求出在加速电压发生了变化时标准灵敏度值变化的比例，根据该比例和所述标准灵敏度值的实测值来计算其它加速电压下的标准灵敏度值，基于该标准灵敏度值来更新标准灵敏度曲线的数据并使更新后的标准灵敏度曲线的数据存储到所述存储部中。