[发明专利]声表面波滤波器及其制造方法

说明书

本公开提供一种声表面波滤波器及其制造方法。声表面波滤波器包括滤波器基板，设置在滤波器基板上的多个叉指转换器，其中多个叉指转换器相互间隔开，同一叉指转换器中的叉指的厚度相同，不同叉指转换器中的叉指的厚度不同。本公开通过将不同频段的滤波器集成到同一基板上，可实现尺寸小、制作简单、且易于集成的声表面波滤波器。

技术领域

本公开涉及半导体领域，特别涉及一种声表面波滤波器及其制造方法。

背景技术

在声表面波滤波器的相关技术中，在基板上设置两组具有能量转换功能的叉指转换器，即发射叉指转换器和接收叉指转换器。当发射叉指转换器接上交流电压信号时，压电晶体基板的表面产生振动，并激发出与外加信号同频的声波，此声波主要沿着基板的表面传播，其中一个方向的声波被吸声材料吸掉，另一方向的声波则被传输到接收叉指转换器，转换为电信号输出。

发明内容

发明人通过研究发现，在相关技术中，声表面波滤波器的叉指转换器中的叉指厚度相同，因此声表面波滤波器仅能在某一特定频段内进行工作。在当前的通信系统中，通常会用到LB(Low Band，低频段)滤波器、MB(Middle Band，中频段)滤波器和HB(High Band，高频段)滤波器，因此同时需要设置3个滤波器。若考虑到每个频段的进一步细分，同时需要的滤波器数量会更多。由此显著增大了电子设备的体积和设计复杂度。

为此，本公开提供一种可实现尺寸小、制作简单、且易于集成的声表面波滤波器。

根据本公开实施例的第一方面，提供一种声表面波滤波器，包括：滤波器基板；设置在所述滤波器基板上的多个叉指转换器，其中所述多个叉指转换器相互间隔开，同一叉指转换器中的叉指的厚度相同，不同叉指转换器中的叉指的厚度不同。

在一些实施例中，所述叉指转换器中的叉指的厚度与对应工作频段的中心频率呈反相关关系。

在一些实施例中，所述叉指的厚度大于0.08微米。

在一些实施例中，所述叉指的宽度为0.25至3微米。

在一些实施例中，所述叉指的材料包括金、银、铜、铁、铝、镍或锡中的至少一种。

在一些实施例中，所述滤波器基板的材料包括氮化铝、石英、铌酸锂或钽酸锂中的至少一种。

根据本公开实施例的第二方面，提供一种声表面波滤波器的制造方法，包括：提供滤波器基板；在所述滤波器基板上形成多个叉指转换器，其中所述多个叉指转换器相互间隔开，同一叉指转换器中的叉指的厚度相同，不同叉指转换器中的叉指的厚度不同。

在一些实施例中，在所述滤波器基板上形成多个叉指转换器包括：在所述滤波器基板上形成具有第一厚度的多个叉指电极，所述多个叉指电极至少包括第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极，其中所述第一厚度为与第一频段相对应的叉指厚度，将所述第三叉指电极作为第一叉指转换器；分别在所述第一叉指电极和所述第二叉指电极上进行沉积，以得到具有第二厚度的第四叉指电极和第五叉指电极，其中所述第二厚度为与第二频段相对应的叉指厚度，将所述第五叉指电极作为第二叉指转换器；在所述第四叉指电极上进行沉积，以得到具有第三厚度的第六叉指电极，其中所述第三厚度为与第三频段相对应的叉指厚度，将所述第六叉指电极作为第三叉指转换器。

在一些实施例中，所述第二频段的中心频率小于所述第一频段的中心频率，且大于所述第三频段的中心频率。

在一些实施例中，所述叉指的材料包括金、银、铜、铁、铝、镍或锡中的至少一种；所述滤波器基板的材料包括氮化铝、石英、铌酸锂或钽酸锂中的至少一种。

通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明