[发明专利]一种溅射旋转铝铜合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种溅射旋转铝铜合金靶材，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：难熔物质0.2-3wt％、铜0.5-6wt％和铝余量，所述难熔物质为熔点超过1500℃的金属或氧化物。

2.根据权利要求1所述的溅射旋转铝铜合金靶材，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：难熔物质0.8-2wt％、铜4.5-6wt％和铝余量。

3.根据权利要求1或2所述的溅射旋转铝铜合金靶材，其特征在于，所述难熔物质包括钽、钛、钇、氧化锆中的至少一种；所述氧化锆中含有5-7wt％氧化钇。

4.一种如权利要求1-3所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)按比例配料，通过机械混合或喷雾造粒的方式，获得目标粉末；

(2)以不锈钢钢管或钛管作为基管，对基管进行表面喷砂处理后，继续进行电弧打底或热喷涂处理；

(3)冷喷涂成型：安装处理后的基管，加入目标粉末，启动冷却装置进行冷喷涂，得到靶材；

(4)对步骤(3)制得的靶材进行机械加工，得到成品。

5.根据权利要求4所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述目标粉末的D50粒径为10-80μm，氧含量低于1500ppm，纯度为99.9％以上。

6.根据权利要求4所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，表面喷砂处理所用的砂为白刚玉、钢丝切丸或铸钢砂；优选地，表面喷砂处理所用的砂为铸钢砂。

7.根据权利要求4所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，经电弧打底或热喷涂处理后的基管表面粗糙度Ra为240-500μm。

8.根据权利要求7所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，电弧打底所用的打底材料包括铜铝丝、镍铝丝、铜包镍粉中的至少一种；优选地，采用电弧打底方式，打底材料选用铜镍丝和铜铝丝。

9.根据权利要求4所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，冷却装置为水冷却装置或气冷却装置。

10.根据权利要求4所述的溅射旋转铝铜合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，冷喷涂的工艺参数为：主气压力为2-10Mpa，载气压力为3-10Mpa；主气加热温度为300-1000℃；喷涂距离为20-100mm；主气及载气均为惰性气体，优选地，所述惰性气体选用氮气。