[发明专利]一种精确表征晶体三维取向和晶体学取向的方法

权利要求书

1.一种精确表征晶体三维取向和晶体学取向的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）获取晶体材料待测区域内的一系列截面的二维组织形貌；

2）通过EBSD数据系统获取待测区域内EBSD花样；EBSD数据系统包括EBSD探头和控制系统以及相应的处理软件，探头将采集到的EBSD花样传送到计算机软件进行标定，通过channel5软件获得的衍射花样对应到宏观坐标系下的矢量，构筑EBSD的xyz晶体学坐标系；

3）将所述步骤1）获得的所述一系列截面的二维组织形貌通过三维图像分析软件进行三维图像合成，获取三维形貌，生成三维形貌所在XYZ坐标系，具体地，采用Avizo软件，对导入Avizo软件的SEM图片进行图像处理，之后进行阈值分割，对整体数据进行二值化处理，通过Avizo软件自动生成三维形貌所在坐标系；

4）在EBSD获得的晶体学坐标系与所述三维形貌所在坐标系之间建立转换关系，X、Y、Z基矢方向和x、y、z基矢方向的关系为：X=x; Y=-1*y; Z=z；

5）在所述步骤3）中合成的所述三维形貌中提取特征形貌在三维形貌所在坐标系中的三维取向；

6）将所述步骤5）的特征形貌的三维取向转换到EBSD获得的晶体学坐标系中，获得所述特征形貌的晶体学取向；

具体地，通过在三维图像分析软件中的切片功能确定特征面的三维取向；对于特征线或棒，通过提取穿过所述线或棒的两个面的法线方向，对两个面的法线方向进行叉乘，获得所述特征线或棒的三维取向。

2.根据权利要求1所述的精确表征晶体三维取向和晶体学取向的方法，其特征在于，所述二维组织形貌的获取具体通过FIB/SEM双束系统观察获得，或者经机械磨抛后通过光学显微镜观察获得。