[发明专利]一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201910736696.7 | 申请日： | 2019-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN110328237B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘华春;冉继龙;詹开严;郑自链;刘旺;石亚雨;孙连勇 | 申请（专利权）人： | 中铝东南材料院（福建）科技有限公司;中铝瑞闽股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B38/00;B21B37/74 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 钱莉;蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 高纯 铝靶材 制备 方法 | ||
1.一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤S1：在5N高纯铝轧制至≥100mm厚度时，沿宽度方向每隔100~300mm检测轧辊的温度T1~Tn或沿宽度方向每隔100~300mm检测5N高纯铝靶材的温度；
步骤S2：根据步骤S1得到的温度，绘制测温曲线，根据测温曲线，选取特定的工作辊冷却曲线，即通过对乳液喷射量的调整，对轧辊及5N高纯铝靶材进行温度控制，用以实现轧制过程的轧辊及5N高纯铝靶材沿宽度方向的温度均匀性，从而实现靶材沿宽度方向的性能及晶粒均匀性即完成靶材的制备；
其中，步骤S2中所述进行温度控制的具体内容为：根据测温曲线，对于温度高的区域，增大乳液喷射量；对于温度低的区域，减少乳液喷射量；喷射量的增加或减少值为Sx=(Tx-Tavg)/Tavg*S0；Sx为某100~300mm区域的乳液增加或减少量，其中Tx为该100~300mm区域的温度值，Tavg为所测温度值的平均值，S0为初始的乳液喷射量。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：所述大尺寸5N高纯铝靶材的宽度≥1500mm。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸5N高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：所述工作辊冷却曲线在宽度方向上，每50~300mm喷射量可调节，且能满足喷射压力在5~10bar。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中铝东南材料院（福建）科技有限公司;中铝瑞闽股份有限公司，未经中铝东南材料院（福建）科技有限公司;中铝瑞闽股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910736696.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种应用于超长超窄铝带的轧制方法
- 下一篇：钢带自动取样切头多功能装置
