[发明专利]一种基于串联放大机构的超大角行程倾斜镜

权利要求书

1.一种基于串联压电陶瓷的超大角行程倾斜镜，其特征在于：该倾斜镜由反射镜面(1)，镜座(2)，柔性头(3)，串联放大机构驱动单元(4)和基底(5)组成；该倾斜镜的组装方式是：反射镜面(1)与镜座(2)胶接，镜座(2)与4个柔性头(3)一端螺钉连接；每个柔性头(3)的另一端与每个串联放大机构驱动单元(4)螺钉连接，每个串联放大机构驱动单元(4)的另一端与底座螺钉连接；其中4个串联放大机构驱动单元(4)与对称正交固定在基底(5)上，该倾斜镜的工作原理是控制信号分别驱动每个串联放大机构驱动单元(4)内的高速驱动器(401)，高速驱动器(401)位移经串联位移放大机构放大后产生直线位移，通过柔性头(3)将直线位移转换为偏转运动，最终使反射镜面(1)发生倾斜运动，从而达到控制入射光束偏摆方向的目的。

2.根据权利要求1所述的超大角行程倾斜镜，其特征在于：所述的串联放大机构驱动单元(4)采用N个桥式柔性位移放大机构串联而成，桥式位移放大机构与高速驱动器(401)两端胶结，桥式位移放大机构的位移放大比与刚度应按照实际需求调整。

3.根据权利要求2所述的超大角行程倾斜镜，其特征在于：放置与所述串联放大机构驱动单元(4)的高速驱动器可采用压电材料或者磁致伸缩材料。