[发明专利]用于受测试器件的模块化轨道系统、轨道系统、机构以及设备

权利要求书

1.一种探针模块定位系统，用于观测和测试受测试器件DUT阵列，所述系统包括：

支撑构件，包括：

平行于DUT阵列的平面表面，以及

平行于所述DUT阵列的Y方向的两个线性引导构件，所述两个线性引导构件在垂直于所述Y方向的X方向上分离以使所述DUT阵列被设置于其间；

至少两个托架，其在Z方向上由所述支撑构件的所述平面表面支撑，所述Z方向垂直于所述X方向和所述Y方向，所述至少两个托架能够在所述Y方向上沿所述两个线性引导构件移动，并且被配置为在相对于所述Y方向的至少一个方向上限制沿所述两个线性引导构件的移动，并且限制垂直于所述两个线性引导构件的移动，其中，通过所述两个线性引导构件中的一个引导所述至少两个托架中的至少一个，使得所述至少两个托架中的至少一个被设置在所述DUT阵列的一侧上；

至少一个轨道，其通过所述至少两个托架在各端部处支撑在所述DUT阵列上方，所述至少两个托架被设置在所述DUT阵列的相对侧上，使得所述轨道能够被定位为垂直于所述两个线性引导构件并且平行于所述X方向，所述至少两个托架控制所述轨道的端部在所述Y方向和所述Z方向上的位置，并且所述至少两个托架中的至少一个还控制所述轨道在所述X方向上的位置，并且所述至少两个托架中的至少一个控制所述轨道围绕所述轨道的纵向轴线的旋转；

至少一个位点组件，其能够承载探针模块，所述位点组件包括至少一个精细定位平台，所述至少一个精细定位平台用于在所述X方向、所述Y方向或者所述Z方向上或者围绕X轴线、Y轴线或者Z轴线相对于所述位点组件定位所述探针模块；以及

工具，其包括用于观察DUT的光学元件、控制器或者用于至少一个位点组件精确定位轴线的致动器，所述工具能够与所述位点组件对准，以致动所述位点组件中的至少一个精细定位平台；以及

围封件，其具有顶部，所述顶部具有允许接入端口定位于所述位点组件能够被定位的任何位置上方的一个或多个滑动板，所述接入端口能够被打开或关闭。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述支撑构件为由压板插入件所支撑的矩形板，所述压板插入件能够相对于所述DUT阵列平坦化。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述平坦化由三个球端螺钉所提供，所述三个球端螺钉与所述矩形板中的螺纹孔相接合，所述三个球端螺钉的球端嵌套在所述压板插入件的三个V形槽或者平行圆柱面对中，从而在所述支撑构件和所述压板插入件之间形成运动学夹具。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述支撑构件具有在所述支撑构件中心的矩形孔，从而产生框架形状，其中所述孔的两个平行垂直面是所述两个线性引导构件。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述至少两个托架中的每个托架具有抵靠所述支撑构件的所述平面表面的三个接触件以及抵靠所述两个线性引导构件中的一个的两个接触件。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，通过垂直于所述两个线性引导构件并且大体上沿所述轨道的长度的力将所述每个托架的三个接触件抵靠它们各自的引导构件，其中所述轨道参与所述至少两个托架之间传递所述力。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述至少两个托架中的每个托架为弹簧偏压地抵靠夹具，所述夹具在松开时不干涉托架运动，而在夹紧时限制沿所述两个线性引导构件的托架运动，但是不干涉所述托架的其他5个自由度。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，每个位点组件为弹簧偏压地抵靠夹具，所述夹具在松开时不干涉位点组件运动，而在夹紧时限制沿所述轨道的位点组件运动，但是不干涉所述位点组件的其他5个自由度。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述工具在运动学夹具中与所述位点组件配合，并且能够在位点组件间移动。