[发明专利]移载装置

说明书

本发明提供一种移载装置(20)。该移载装置(20)具备：能够载放料盒(90)且使之在水平方向上进行进退移动的载货部(21)、使载货部(21)进行旋转的旋转部(24)、以及使载货部(21)进行升降的升降部(31)。升降部(31)被配置在：比通过旋转部(24)而被旋转的载货部(21)的旋转圆(R)靠向外侧的位置。

技术领域

本发明涉及一种移载装置，该移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。

背景技术

作为上述移载装置，例如，有这样一种装置：能够将通过搬送台车被搬送来的收装有基板的料盒(物品)移载到作为处理装置的处理室(例如，参照专利文献1)。在专利文献1的移载装置中，料盒搬送设备(移载装置)将通过搬送台车设备被搬送来的料盒从搬送台车设备移载到设置在处理室上方的收货台。或者，料盒搬送设备将收装有在处理室被处理过的基板的料盒从上述收货台移载到搬送台车设备。

料盒搬送设备具备：能够载放料盒且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使该载货部进行旋转的旋转部、以及使载货部进行升降的升降部。料盒搬送设备通过升降部而使朝向搬送台车设备进行伸长的载货部从料盒的下方开始上升，由此使料盒载放到载货部上。而且，料盒搬送设备在使载放有料盒的载货部进行弯曲的状态下，通过旋转部而使之进行旋转，由此将料盒移载到处理室的上方的收货台。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国登录专利第10-1511963号公报

发明内容

然而，在上述那种以往的移载装置中，由于构成为：升降部配置在比载货部低的位置，而且，旋转部配置在升降部的下方，因此，在载货部的下方或者附近，必须确保升降部以及旋转部的设置空间，这样就产生了移载装置整体难以实现底盘低化的问题。

另外，在以往的移载装置中，由于升降部配置在载货部附近，因此，就产生了：载货部的进退移动因为升降部的配置而被限制为2方向或3方向的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种下述的移载装置，即：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部可以在4方向上进行进退移动，而且还能实现装置整体的底盘低化。

本发明所要解决的课题如上所述，接着，说明用于解决该课题的技术手段。

即，本发明的移载装置具备：能够载放物品且使之在水平方向上进行进退移动的载货部、使所述载货部进行旋转的旋转部、以及使所述载货部进行升降的升降部，所述升降部被配置在：比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置。

在上述构成中，升降部被配置在：比通过旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置，由此，升降部与载货部被配置在相分离开的位置，并且升降部在比所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置来进行载货部的升降。

本发明的移载装置是在上述移载装置的基础之上，在比通过所述旋转部而被旋转的所述载货部的旋转圆靠向外侧的位置具备4根支柱，在所述4根支柱的各支柱上设置所述升降部，所述载货部被支承于所述4根支柱，通过设置在所述4根支柱中的各支柱上的所述升降部来进行升降。

在上述构成中，通过设置在4根支柱中的各支柱上的升降部来进行载货部的升降。亦即，利用4轴来进行载货部的升降。

本发明的移载装置是在上述移载装置的基础之上，具备：使移载装置整体在水平方向上移动的行驶部。

根据上述构成，通过使行驶部进行行驶，移载装置整体在水平方向上进行移动。