[发明专利]一种基于光谱共焦的成像检测装置在审
申请号: | 201910743320.9 | 申请日: | 2019-08-13 |
公开(公告)号: | CN110412758A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 季荣;周威 | 申请(专利权)人: | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B21/08;G02B21/36;G01N21/01 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李倩 |
地址: | 211102 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波长 成像检测装置 分色组件 图像探测器 被测物体 成像组件 照明组件 共焦 光谱 会聚 高精度测量 表面反射 成像光束 成像检测 高分辨率 光束会聚 深度距离 中分辨率 大景深 光轴 焦深 物镜 成像 照射 发射 制约 | ||
1.一种基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:包括照明组件、成像组件、分色组件和多个图像探测器,照明组件发射具有不同波长的光束,不同波长的光束分别照射在被测物体沿光轴一段深度距离内的不同位置,不同波长的光束在被测物体不同深度表面反射后通过成像组件会聚后进入分色组件;分色组件将会聚后的成像光束分为不同波长的多个光束,每个波长的光束会聚在其对应的图像探测器上成像。
2.根据权利要求1所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:每个图像探测器分别通过电缆与上位机连接。
3.根据权利要求1所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:所述照明组件包括光源和聚焦镜,聚焦镜将光源发射的带不同波长的光束会聚进入成像组件;光源为LED白光光源或光纤白光光源。
4.根据权利要求1所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:所述成像组件包括物镜、分光镜和筒镜;分光镜为半透半反镜,分光镜将一部分入射照明光束折转,进入物镜后照明在被测物体上,物镜将不同波长的光束分别会聚在被测物体沿光轴一段深度距离内的不同位置上;在被测物体不同深度表面反射的光束进入物镜会聚成成像光束,成像光束经分光镜透射后再经过筒镜会聚后进入分色组件。
5.根据权利要求1所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:所述分色组件由多个分色棱镜组成,或分色组件由两个分色平面镜组成。
6.根据权利要求5所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:分色组件由多个分色棱镜组成时,多个分色棱镜包括三棱镜a、三棱镜b和四棱镜c;三棱镜a和三棱镜b的胶合面中心为空气隙,该胶合面镀有反射蓝光的高通滤光膜;三棱镜b和四棱镜c的胶合面无空气间隙,该胶合面镀有反射红光的低通滤光膜。
7.根据权利要求5所述的基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:当分色组件由两个分色平面镜组成时,两个分色平面镜中心延长线的夹角为90度。
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