[发明专利]一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法

说明书

本发明公开了一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，将两个反射镜沿激光干涉仪的两道测量光束方向呈45°倾斜角度设置；保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作步进运动，激光干涉仪得到测量值，第二个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第二反射镜复位；保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作反向步进运动，激光干涉仪得到测量值，将第一组面形变化数值和第二组面形变化数值做平均化处理，计算得到整体面形变化。达到提高对激光干涉仪配套的反射镜组进行面形校准的方法的校准精度，同时降低了成本的目的。

技术领域

本发明涉及激光干涉技术领域，尤其涉及一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法。

背景技术

激光干涉仪的反射镜由于加工、装配精度、所受应力以及环境等因素的影响，其表面形不可避免会存在一定的缺陷，即实际面形与理想面形存在一定偏差，为保证激光干涉仪的测量精度，需要对与激光干涉仪配套的反射镜组进行面形校准，但是现有的对激光干涉仪配套的反射镜组进行面形校准的方法的校准精度低，成本高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法，旨在解决现有技术中的对激光干涉仪配套的反射镜组进行面形校准的方法的校准精度低，成本高的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，包括如下步骤：在反射镜面形校准前，校准环境处于真空状态，保持第一反射镜和第二反射镜处于零位定位；

将两个反射镜沿激光干涉仪的两道测量光束方向呈45°倾斜角度设置；

保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作步进运动，激光干涉仪得到测量值，按设定的步进值，保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向重复多次步进运动，激光干涉仪得到多个测量值，经计算得到第一组面形变化数值；

第二个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第二反射镜复位；

保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作反向步进运动，激光干涉仪得到测量值，按设定的步进值，保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向重复多次步进运动，激光干涉仪得到多个测量值，经计算得到第二组面形变化数值；

第一个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第一反射镜复位；

将第一组面形变化数值和第二组面形变化数值做平均化处理，计算得到整体面形变化。

其中，在反射镜面形校准前，校准环境处于真空状态。

其中，在反射镜面形校准前，设定激光干涉仪上两道测量光束之间的距离为L，设定步进值为Δ，步进次数M＝L/Δ。

其中，第二反射镜的实际步进次数与预设的步进次数M进行比较，若第二反射镜的实际步进次数小于预设的步进次数M，需要第二反射镜继续作步进运动，第二反射镜不能复位；

若第二反射镜的实际步进次数大于预设的步进次数M，第二反射镜复位。

其中，第一反射镜的实际步进次数与预设的步进次数M进行比较，若第一反射镜的实际步进次数小于预设的步进次数M，需要第一反射镜继续作步进运动，第一反射镜不能复位；

若第一反射镜的实际步进次数大于预设的步进次数M，第一反射镜复位。

其中，在测量第二反射镜的测量值时，激光干涉仪得到的测量值为G1_x(x＝1,2,…M-1)，第一组面形变化数值为B1_x＝G1_x-Δ(x＝1,2,…M-1)。