[发明专利]一种冷却水自动调节系统

权利要求书

1.一种冷却水自动调节系统，包括：

第一温度传感器，其布置在待冷却部件的区域中以用于测量所述待冷却部件的第一温度，其中所述待冷却部件能够通过冷却水被冷却；

自动阀，其布置在冷却水的流动路径上，其中所述自动阀被配置为根据来自控制器的调节信号调节冷却水的流量；以及

控制器，其被配置为根据第一温度生成调节信号。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括手动阀，所述手动阀布置在冷却水的流动路径上以用于调节冷却水的流量。

3.根据权利要求1所述的系统，还包括第二温度传感器，其布置在加热器的区域中以用于测量加热器的第二温度，其中控制器还被配置为执行下列动作：

根据第二温度确定待冷却部件的最佳冷却温度；以及

将第一温度与最佳冷却温度相比较，并且在第一温度大于最佳冷却温度的情况下生成调节信号，使得待冷却部件的温度以所定义的速度下降到最佳冷却温度。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一温度传感器和/或第二温度传感器为热电偶。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述冷却水自动调节系统被用于半导体制造设备。

6.一种用于自动调节冷却水的方法，包括下列步骤：

由第一温度传感器测量待冷却部件的第一温度，其中所述待冷却部件能够通过冷却水被冷却；

由控制器根据第一温度生成调节信号；以及

由自动阀根据调节信号调节冷却水的流量。

7.根据权利要求6所述的方法，其中由控制器根据第一温度生成调节信号包括：

由第二温度传感器测量加热器的第二温度；

根据第二温度确定待冷却部件的最佳冷却温度；以及

将第一温度与最佳冷却温度相比较，并且在第一温度大于最佳冷却温度的情况下生成调节信号，使得待冷却部件的温度以所定义的速度下降到最佳冷却温度。

8.根据权利要求7所述的方法，其中待冷却部件的温度以所定义的速度接近最佳冷却温度包括：

待冷却部件的温度以所定义的速度达到最佳冷却温度的允许波动范围内，其中所述允许波动范围为±3℃或±5℃。

9.根据权利要求7所述的方法，其中由控制器根据第一温度生成调节信号包括：

由控制器根据第一温度和最佳冷却温度确定冷却水随时间的流量；以及

根据所述流量生成控制信号。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述流量不超过最大允许的流量，使得所生成的副产品低于阈值。