[发明专利]一种改善钨脆性的层状结构材料及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910743995.3 申请日: 2019-08-13
公开(公告)号: CN110331371A 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 刘家琴;陈翔;谭晓月;王武杰;吴玉程 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;B32B15/01
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 乔恒婷
地址: 230009 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 界面层 基体层 层状结构材料 制备 脆性 单层 磁控溅射技术 金属 磁控溅射 镀膜工艺 交替堆叠 控制作用 扩散连接 复合材料 顶层 冷轧 两层 增韧 消耗 吸收 优化
【权利要求书】:

1.一种改善钨脆性的层状结构材料,其特征在于:

所述层状结构材料包括基体层和界面层,所述基体层为冷轧W箔,所述界面层为磁控溅射制备的金属Ti层;所述基体层和所述界面层交替堆叠,即每两层基体层W箔之间存在一层金属Ti界面层,并以基体层作为底层和顶层。

2.根据权利要求1所述的层状结构材料,其特征在于:

单层基体层的厚度为90~110μm,单层界面层的厚度为0.4~2μm。

3.权利要求1或2所述的改善W脆性的层状结构材料的制备方法,其特征在于包括如下步骤:

步骤1:首先采用电火花线切割对W箔形状进行预加工,然后对W箔进行清洗,随后置于真空干燥箱中干燥;

步骤2:采用磁控溅射镀膜技术在步骤1预处理后的W箔表面镀金属Ti作为界面层;

步骤3:将步骤2中镀Ti的W箔交替堆叠,然后通过SPS技术制备层状W基复合材料。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:

步骤2中,磁控溅射镀膜的工艺参数为:作用在Ti靶的输入功率50W;产生等离子体时氩气气压2.5Pa;通过改变溅射时间来获得不同厚度的Ti界面层,溅射时间10~120min。

5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:

步骤3中,镀Ti的W箔堆叠的层数为10~30层。

6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:

步骤3中,SPS烧结过程的工艺参数为:首先,电流以100A/min调节速率进行升高,当电流达到1000A~1800A时可使烧结温度达到900℃~1500℃,保温0~30min,然后炉冷。

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