[发明专利]一种硅棒的晶线生长状态检测方法、装置及设备

权利要求书

1.一种硅棒的晶线生长状态检测方法，其特征在于，所述方法包括：

在硅棒处于等径生长的过程中，获取所述硅棒的样本图像；

在所述样本图像上设置检测区域，所述检测区域与所述硅棒的晶线生长线重叠，在所述硅棒处于等径生长的过程中，所述硅棒的晶线沿所述晶线生长线生长；所述检测区域包括：与所述硅棒的轴向方向垂直的线段，或与所述硅棒的轴向方向垂直的矩形区域，其中，所述矩形区域的面与所述硅棒的轴向方向垂直；

生成所述检测区域的灰度值曲线；

根据所述灰度值曲线，确定所述晶线生长线上，所述硅棒的晶线的生长状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述检测区域为与所述硅棒的轴向方向垂直的线段的情况下，所述生成所述检测区域的灰度值曲线的步骤，包括：

从所述线段的一端开始，生成所述线段对应的灰度值曲线。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述检测区域为与所述硅棒的轴向方向垂直的矩形区域的情况下，所述生成所述检测区域的灰度值曲线的步骤，包括：

从所述矩形区域的一端开始，将所述矩形区域划分为多个相同的子区域；

计算每一个所述子区域的平均灰度值；

根据所有所述子区域的平均灰度值，生成所述矩形区域对应的灰度值曲线。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述灰度值曲线，确定所述晶线生长线上，所述硅棒的晶线的生长状态的步骤，包括：

根据所述灰度值曲线，计算所述灰度值曲线的灰度值方差值；

在所述灰度值方差值大于或等于方差值阈值的情况下，确定所述生长状态为连续状态；

在所述灰度值方差值小于所述方差值阈值的情况下，确定所述生长状态为断线状态。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述灰度值曲线，确定所述晶线生长线上，所述硅棒的晶线的生长状态的步骤，包括：

在所述灰度值曲线上存在晶线特征峰的情况下，确定所述生长状态为连续状态；

在所述灰度值曲线上不存在所述晶线特征峰的情况下，确定所述生长状态为断线状态。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取所述硅棒的样本图像之后，所述方法还包括：

按照预设的图像增强算法，对所述样本图像进行图像增强处理。

7.一种硅棒的晶线生长状态检测装置，其特征在于，所述装置包括：

样本图像获取模块，用于在硅棒处于等径生长的过程中，获取所述硅棒的样本图像；

检测单元设置模块，用于在所述样本图像上设置检测区域，所述检测区域与所述硅棒的晶线生长线重叠，在所述硅棒处于等径生长的过程中，所述硅棒的晶线沿所述晶线生长线生长；所述检测区域包括：与所述硅棒的轴向方向垂直的线段，或与所述硅棒的轴向方向垂直的矩形区域，其中，所述矩形区域的面与所述硅棒的轴向方向垂直；

灰度值曲线生成模块，用于生成所述检测区域的灰度值曲线；

生长状态确定模块，用于根据所述灰度值曲线，确定所述晶线生长线上，所述硅棒的晶线的生长状态。

8.一种硅棒的晶线生长状态检测设备，其特征在于，所述设备包括：接口，总线，存储器与处理器，所述接口、存储器与处理器通过所述总线相连接，所述存储器用于存储可执行程序，所述处理器被配置为运行所述可执行程序实现如权利要求1至6中任一项所述的硅棒的晶线生长状态检测方法的步骤。

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储可执行程序，所述可执行程序被处理器运行实现如权利要求1至6中任一项所述的硅棒的晶线生长状态检测方法的步骤。